锆钛酸铅（PZT）陶瓷材料相关技术与应用研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-30页 |
| ·微系统与微细加工技术 | 第14-22页 |
| ·微机电系统(MEMS)概述 | 第14-16页 |
| ·MEMS 中的微细加工技术 | 第16-20页 |
| ·用于微系统的 PZT 陶瓷材料 | 第20-22页 |
| ·飞秒激光技术及研究进展 | 第22-27页 |
| ·飞秒激光器 | 第22-23页 |
| ·飞秒激光技术研究进展 | 第23-27页 |
| ·本论文的研究内容 | 第27-28页 |
| ·本论文的结构 | 第28-30页 |
| 第2章 压电理论及飞秒激光加工机理 | 第30-43页 |
| ·压电基本理论 | 第30-34页 |
| ·压电效应 | 第30-31页 |
| ·压电陶瓷的压电效应 | 第31-33页 |
| ·压电方程 | 第33-34页 |
| ·飞秒激光与材料相互作用过程 | 第34-40页 |
| ·激光与材料相互作用 | 第34-37页 |
| ·飞秒激光与材料相互作用 | 第37-40页 |
| ·飞秒激光烧蚀材料研究 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第3章 飞秒激光烧蚀 PZT 研究 | 第43-58页 |
| ·PZT 陶瓷材料的的图形化技术 | 第43-47页 |
| ·PZT 铁电薄膜图形化 | 第43-46页 |
| ·PZT 厚膜图形化技术 | 第46-47页 |
| ·飞秒激光烧蚀材料阈值模型 | 第47-53页 |
| ·飞秒激光烧蚀材料研究现状 | 第48-49页 |
| ·飞秒激光烧蚀介质材料的阈值模型 | 第49-52页 |
| ·激光参数对飞秒激光加工过程的影响 | 第52-53页 |
| ·飞秒激光图形化PZT 材料的实验研究 | 第53-57页 |
| ·飞秒激光实验系统 | 第53页 |
| ·实验结果及分析 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第4章 用于微泵的 PZT 压电厚膜驱动器研究 | 第58-75页 |
| ·微泵研究现状 | 第58-62页 |
| ·机械式微泵 | 第58-61页 |
| ·微泵发展趋势 | 第61-62页 |
| ·收缩/扩散型无阀微泵 | 第62-64页 |
| ·收缩/扩散型微泵原理 | 第62-63页 |
| ·流体的收缩/扩散理论 | 第63-64页 |
| ·基于压电厚膜的微泵设计及制作 | 第64-74页 |
| ·压电膜片驱动器设计 | 第65-67页 |
| ·PZT 压电厚膜的制备 | 第67-70页 |
| ·PZT 厚膜驱动器制作及测试 | 第70-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 第5章 PZT铁电薄膜相关技术研究 | 第75-89页 |
| ·PZT 压电薄膜制备技术 | 第75-76页 |
| ·透明导电电极基底上的PZT 制备 | 第76-88页 |
| ·透明导电薄膜 ITO 的制备 | 第76-80页 |
| ·ITO 基底上PZT 薄膜的制备 | 第80-85页 |
| ·ITO 基底上PZT 薄膜的测试及分析 | 第85-88页 |
| ·本章小结 | 第88-89页 |
| 第6章 总结与展望 | 第89-91页 |
| ·本论文主要工作总结 | 第89-90页 |
| ·展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 作者攻读博士学位期间完成论文 | 第98页 |
