| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9-15页 |
| ·MEMS技术概论 | 第9页 |
| ·MEMS加工技术 | 第9-11页 |
| ·MEMS的发展及应用 | 第11-12页 |
| ·光学MEMS技术及其应用 | 第12-15页 |
| ·几种典型的微机械加速度计器件 | 第15-23页 |
| ·微机械加速度计分类 | 第15-16页 |
| ·电检测型微机械加速度计 | 第16-17页 |
| ·光纤检侧型光强调制加速度计 | 第17-20页 |
| ·光纤检测型相位调制加速度计 | 第20-23页 |
| ·本论文的研究意义、主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·本论文的研究意义 | 第23页 |
| ·本论文的结构安排 | 第23-25页 |
| 第二章 MEMS光纤加速度计的原理和结构设计 | 第25-32页 |
| ·MEMS光纤加速度计的设计原理 | 第25页 |
| ·光纤准直器的耦合原理 | 第25-29页 |
| ·单光纤准直器耦合 | 第25-28页 |
| ·双光纤准直器耦合 | 第28-29页 |
| ·MEMS光纤加速度计的结构 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 MEMS加速度敏感芯片设计和优化 | 第32-51页 |
| ·MEMS光纤加速度计的灵敏度 | 第32-33页 |
| ·MEMS加速度敏感芯片的结构参数 | 第33-46页 |
| ·MEMS加速度敏感芯片的灵敏度 | 第34-35页 |
| ·MEMS加速度敏感芯片的光学尺寸 | 第35页 |
| ·MEMS光纤加速度计的带宽 | 第35页 |
| ·MEMS光纤加速度计的阻尼 | 第35-39页 |
| ·MEMS光纤加速度计的噪声分析 | 第39-44页 |
| ·MEMS光纤加速度计与电容检测加速度计的噪声比较 | 第44-46页 |
| ·MEMS加速度敏感芯片ANSYS模拟 | 第46-48页 |
| ·MEMS光纤加速度计交叉灵敏度分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 MEMS光纤加速度计的工艺制作、封装和测试 | 第51-61页 |
| ·MEMS光纤加速度计的工艺制作 | 第51-54页 |
| ·MEMS光纤加速度计的封装 | 第54-56页 |
| ·MEMS光纤加速度计的测试 | 第56-60页 |
| ·静态测试 | 第56-57页 |
| ·动态测试 | 第57-60页 |
| ·本章小节 | 第60-61页 |
| 第五章 结论与展望 | 第61-63页 |
| ·本论文的主要研究内容及成果 | 第61页 |
| ·本论文的创新点 | 第61-62页 |
| ·下一步工作的展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 个人简历 | 第69-70页 |