AFM微悬臂梁法向弹性系数标定技术
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-21页 |
| ·AFM 工作原理 | 第7-9页 |
| ·AFM 应用研究 | 第9-12页 |
| ·材料成像与测试 | 第9-10页 |
| ·纳米级操纵与加工 | 第10-11页 |
| ·高密度信息存储 | 第11页 |
| ·生物医学研究 | 第11-12页 |
| ·微悬臂梁法向弹性系数标定方法分析 | 第12-20页 |
| ·Cleveland 法 | 第14-15页 |
| ·Sader 法 | 第15-16页 |
| ·热噪声法 | 第16-17页 |
| ·压痕仪法 | 第17-18页 |
| ·参考梁法 | 第18-19页 |
| ·天平测力法 | 第19-20页 |
| ·论文的主要工作 | 第20-21页 |
| 第二章 微悬臂梁弹性系数标定系统设计 | 第21-29页 |
| ·基于微弯曲法的微悬臂梁弹性系数标定方法 | 第21-22页 |
| ·微悬臂梁弹性系数标定系统总体设计 | 第22-24页 |
| ·微悬臂梁定位单元设计 | 第24-25页 |
| ·微悬臂梁弯曲力测量单元设计 | 第25-26页 |
| ·微悬臂梁弯曲量检测单元设计 | 第26-29页 |
| 第三章 标定系统硬件控制电路设计 | 第29-37页 |
| ·测控系统总体设计方案 | 第29-30页 |
| ·MSP430 单片机电路设计 | 第30-32页 |
| ·微悬臂梁宏定位单元电路设计 | 第32页 |
| ·微悬臂梁微定位单元电路设计 | 第32-34页 |
| ·DA 转换电路设计 | 第32-33页 |
| ·压电陶瓷驱动模块电路设计 | 第33-34页 |
| ·微悬臂梁弯曲量的测量电路设计 | 第34-37页 |
| ·光电探测器原理 | 第34-35页 |
| ·光电探测器信号调理与转换 | 第35-37页 |
| 第四章 标定系统软件程序设计 | 第37-45页 |
| ·标定系统单片机总流程设计 | 第37-38页 |
| ·微悬臂梁的宏-微两级定位系统程序 | 第38-40页 |
| ·步进电机控制策略 | 第38-39页 |
| ·压电陶瓷控制程序 | 第39-40页 |
| ·光电探测器输出信号读取程序设计 | 第40-41页 |
| ·PID 反馈控制策略 | 第41-42页 |
| ·通讯协议的设定 | 第42-43页 |
| ·天平与PC 机之间的通讯 | 第43页 |
| ·PC 机界面的编写 | 第43-45页 |
| 第五章 标定实验及其分析 | 第45-54页 |
| ·压电陶瓷微位移器与光电探测器性能测试 | 第45-47页 |
| ·压电陶瓷微位移器特性测试 | 第45-46页 |
| ·四象限探测器灵敏度测试 | 第46-47页 |
| ·光杠杆灵敏度的标定 | 第47-49页 |
| ·法向弹性系数标定与结果分析 | 第49-54页 |
| 第六章 总结与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
