基于激光干涉仪的圆度误差检测研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| ·课题来源及研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·课题来源 | 第7页 |
| ·研究的目的和意义 | 第7-8页 |
| ·国内外研究现状 | 第8-11页 |
| ·国外激光检测的现状 | 第9页 |
| ·国内激光检测的现状 | 第9-11页 |
| ·主要研究内容 | 第11-13页 |
| 第2章 干涉测量检测方法研究 | 第13-22页 |
| ·干涉测量理论及应用研究 | 第13-18页 |
| ·激光干涉法精密位移测量原理 | 第13-16页 |
| ·影响干涉信号的因素 | 第16-17页 |
| ·乌氏干涉仪的改造 | 第17-18页 |
| ·干涉条纹图像的分析 | 第18-21页 |
| ·Matlab图像处理 | 第18-19页 |
| ·干涉条纹图像的处理 | 第19-21页 |
| ·本章小结 | 第21-22页 |
| 第3章 干涉测量圆度误差检测装置设计 | 第22-36页 |
| ·圆度误差测量方法 | 第22-23页 |
| ·被测工件放置方式 | 第23-26页 |
| ·工件支撑结构设计 | 第26-27页 |
| ·纯力偶联轴节设计 | 第27-28页 |
| ·圆度误差检测装置设计 | 第28页 |
| ·装置系统误差分析 | 第28-35页 |
| ·纯力偶形成的误差 | 第28-34页 |
| ·V型块安装误差 | 第34页 |
| ·润滑油膜对测量的影响 | 第34-35页 |
| ·支撑引起的误差 | 第35页 |
| ·误差合成 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第4章 干涉测量数据采集及处理 | 第36-45页 |
| ·干涉测量数据采集 | 第36-39页 |
| ·干涉测量采集程序 | 第37页 |
| ·测试设备的连接与调试 | 第37-38页 |
| ·人工实验验证测量方法的可行性 | 第38-39页 |
| ·自动测量和手动测量的实验对比研究 | 第39-41页 |
| ·实验方案 | 第39-40页 |
| ·人工测量和自动测量数据分析 | 第40-41页 |
| ·不同激光光源对测量结果实验对比研究 | 第41-42页 |
| ·实验方案 | 第41页 |
| ·两种不同光源测量数据分析 | 第41-42页 |
| ·采集点数的实验对比分析 | 第42-44页 |
| ·实验方案 | 第42页 |
| ·实验数据处理及分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第5章 实验结果分析及误差处理 | 第45-54页 |
| ·圆度误差评价及处理 | 第45-51页 |
| ·系统误差理论 | 第51页 |
| ·系统误差的检验 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
