| 内容提要 | 第1-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-35页 |
| ·引言 | 第9页 |
| ·纳米材料特性简介 | 第9-11页 |
| ·量子尺寸效应 | 第10页 |
| ·表面效应 | 第10页 |
| ·小尺寸效应 | 第10-11页 |
| ·宏观量子隧道效应 | 第11页 |
| ·纳米材料的制备方法简介 | 第11-22页 |
| ·零维纳米材料的制备方法简介 | 第11-13页 |
| ·一维纳米材料的制备方法简介 | 第13-21页 |
| ·二维纳米材料的制备方法简介 | 第21-22页 |
| ·金属氧化物半导体的敏感特性简介 | 第22-27页 |
| ·金属氧化物半导体传感器 | 第22-23页 |
| ·金属氧化物半导体气敏机理 | 第23-26页 |
| ·金属氧化物半导体湿敏机理 | 第26-27页 |
| ·低维金属氧化物半导体的敏感研究现状 | 第27-34页 |
| ·本论文的主要工作和章节安排 | 第34-35页 |
| 第2章 低维纳米金属氧化物半导体湿敏特性的研究 | 第35-61页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·花状ZnO 纳米棒束的湿敏特性研究 | 第35-43页 |
| ·花状ZnO 纳米棒束的制备与表征 | 第36-38页 |
| ·基于花状ZnO 纳米棒束的湿度传感器的性能研究 | 第38-40页 |
| ·结果与讨论 | 第40-43页 |
| ·KCl 掺杂ZnO 纳米纤维的湿敏特性研究 | 第43-47页 |
| ·KCl 掺杂ZnO 纳米纤维的制备与表征 | 第44-45页 |
| ·基于KCl 掺杂ZnO 纳米纤维的湿度传感器的性能研究 | 第45页 |
| ·结果与讨论 | 第45-47页 |
| ·KCl 掺杂Cu-Zn/CuO-ZnO 纳米粒子的湿敏特性研究 | 第47-51页 |
| ·KCl 掺杂Cu-Zn/CuO-ZnO 纳米粒子的制备与表征 | 第47-49页 |
| ·基于KCl 掺杂Cu-Zn | 第49页 |
| ·结果与讨论 | 第49-51页 |
| ·KCl 掺杂TiO_2 纳米纤维的湿敏特性研究 | 第51-58页 |
| ·KCl 掺杂TiO_2 纳米纤维的制备与表征 | 第52-53页 |
| ·基于KCl 掺杂TiO_2 纳米纤维的湿度传感器的性能研究 | 第53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-58页 |
| ·本章小结 | 第58-61页 |
| 第3章 低维纳米金属氧化物半导体气敏特性的研究 | 第61-82页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·哑铃状ZnO 微晶的CH_3COCH_3 敏感特性研究 | 第61-68页 |
| ·哑铃状ZnO 微晶的制备与表征 | 第62-63页 |
| ·基于哑铃状ZnO 微晶的CH_3COCH_3 传感器的性能研究 | 第63-65页 |
| ·结果与讨论 | 第65-68页 |
| ·SnO_2 纳米纤维的敏感特性研究 | 第68-75页 |
| ·SnO_2 纳米纤维的制备与表征 | 第68-70页 |
| ·基于SnO_2 纳米纤维的气体传感器的性能研究 | 第70页 |
| ·结果与讨论 | 第70-75页 |
| ·Sm_2O_3 掺杂SnO_2 纳米粒子的C_2H_2 敏感特性研究 | 第75-79页 |
| ·Sm_2O_3 掺杂SnO_2 纳米粒子的制备与表征 | 第75-77页 |
| ·基于Sm_2O_3 掺杂SnO_2 纳米粒子的C_2H_2 传感器的性能研究 | 第77页 |
| ·结果与讨论 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-82页 |
| 第4章 基于 In/Pd 掺杂 SnO_2纳米粒子的共平面型微结构气体传感器的研究 | 第82-96页 |
| ·引言 | 第82页 |
| ·微热板的设计与优化 | 第82-87页 |
| ·结构设计 | 第82-83页 |
| ·绝缘材料的选择 | 第83-85页 |
| ·电极设计 | 第85-86页 |
| ·微热板的制作 | 第86-87页 |
| ·In/Pd 掺杂SnO_2 的纳米粒子的制备与表征 | 第87-88页 |
| ·基于In/Pd 掺杂SnO_2 的纳米粒子的微结构气体传感器的性能研究 | 第88-90页 |
| ·微结构气体传感器的制作 | 第88-89页 |
| ·结果与讨论 | 第89-90页 |
| ·微热板测温系统的建立 | 第90-95页 |
| ·微热板测温系统的工作原理 | 第91-92页 |
| ·微热板测温系统的实现 | 第92-95页 |
| ·本章小结 | 第95-96页 |
| 第5章 总结与展望 | 第96-99页 |
| 参考文献 | 第99-113页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及取得的科研成果 | 第113-116页 |
| 致谢 | 第116-118页 |
| 作者简介 | 第118-119页 |
| 导师简介 | 第119-120页 |
| 摘要 | 第120-123页 |
| Abstract | 第123-125页 |
