飞秒脉冲整形系统的建立及其应用于对烧蚀过程的控制
提要 | 第1-7页 |
第一章 前言 | 第7-17页 |
·脉冲整形技术概述 | 第7-14页 |
·基于时空傅立叶变换的脉冲整形技术发展 | 第7-10页 |
·基于傅立叶变换的脉冲整形技术的基本原理 | 第10-12页 |
·可编程的空间光调制器SLM原理 | 第12-14页 |
·飞秒烧蚀技术简述 | 第14-16页 |
·本文结构 | 第16-17页 |
第二章 脉冲整形系统的搭建及产生整形脉冲序列 | 第17-43页 |
·反射式4f系统 | 第17-32页 |
·反射式4f系统的搭建 | 第17-20页 |
·自制mask(模具)实现输出脉冲的振幅调制 | 第20-32页 |
·透射式4f系统 | 第32-42页 |
·透射式4f系统的搭建 | 第32-34页 |
·使用空间光调试器SLM输出整形脉冲 | 第34-42页 |
·本章小结 | 第42-43页 |
第三章 用整形的飞秒脉冲烧蚀靶材 | 第43-69页 |
·刀片法测量激光束腰半径 | 第44-47页 |
·飞秒整形脉冲烧蚀Si | 第47-60页 |
·固定子脉冲个数,调整子脉冲间距烧蚀Si | 第47-55页 |
·固定子脉冲间距,变化输出脉冲个数 | 第55-60页 |
·飞秒整形脉冲烧蚀GaAs | 第60-62页 |
·飞秒整形脉冲烧蚀K9 玻璃 | 第62-68页 |
·本章小结 | 第68-69页 |
第四章 结论和展望 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-74页 |
致谢 | 第74-76页 |
摘要 | 第76-78页 |
Abstract | 第78-79页 |