| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-21页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·气敏传感器的分类 | 第8-10页 |
| ·气敏传感器的研究现状 | 第10-15页 |
| ·气敏传感器的气敏机理 | 第15-17页 |
| ·纳米技术及其在气敏传感器中的应用 | 第17-19页 |
| ·本文的研究内容与目的 | 第19-21页 |
| 第二章 水热法制备三氧化钨一维纳米结构 | 第21-28页 |
| ·实验部分 | 第22-24页 |
| ·结果和讨论 | 第24-26页 |
| ·结论 | 第26-28页 |
| 第三章 WO_3一维纳米结构气敏传感器性能研究 | 第28-46页 |
| ·光刻工艺研究 | 第28-34页 |
| ·镀膜实验 | 第34-37页 |
| ·气敏性能测试平台的构建 | 第37-39页 |
| ·WO_3一维纳米结构气敏性能测试 | 第39-44页 |
| ·性能评估小结 | 第44-46页 |
| 第四章 结论与展望 | 第46-48页 |
| 参考文献 | 第48-53页 |
| 附录:攻读硕士学位期间完成的主要工作 | 第53-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |