| 中文摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-22页 |
| ·三氯氢硅生产方法 | 第8-12页 |
| ·三氯氢硅生产方法及应用 | 第8-12页 |
| ·硅氢氯化法 | 第8-10页 |
| ·SiCl_4-H_2还原法 | 第10-12页 |
| ·三氯氢硅的尾气特性 | 第12页 |
| ·硅氢氯化法生产三氯氢硅尾气的治理现状 | 第12-14页 |
| ·综合回收方法 | 第13页 |
| ·淋洗中和处理方法 | 第13页 |
| ·尾气吸附处理方法 | 第13-14页 |
| ·吸附法分离技术 | 第14-20页 |
| ·吸附分离的历史和吸附树脂的历史、现状和前沿发展情况 | 第14-16页 |
| ·吸附树脂应用的历史、现状和前沿发展情况 | 第16-18页 |
| ·气固吸附等温线和吸附等温方程 | 第18-19页 |
| ·固气吸附扩散传质及动力学 | 第19-20页 |
| ·树脂吸附法吸附三氯氢硅尾气中的氯硅烷 | 第20页 |
| ·课题研究背景、目的及主要内容 | 第20-22页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第20-21页 |
| ·研究的主要内容 | 第21-22页 |
| ·树脂的筛选 | 第21页 |
| ·吸附动力学研究 | 第21页 |
| ·动态吸附和脱附的影响因素 | 第21-22页 |
| 第二章 吸附三氯氢硅尾气用树脂的筛选及其动力学研究 | 第22-34页 |
| ·引言 | 第22页 |
| ·实验部分 | 第22-26页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第22-23页 |
| ·实验方法 | 第23-25页 |
| ·树脂的预处理 | 第23页 |
| ·大孔吸附树脂的筛选 | 第23-24页 |
| ·动态吸附动力学实验 | 第24-25页 |
| ·实验装置 | 第25页 |
| ·分析方法 | 第25-26页 |
| ·气相色谱分析法 | 第25页 |
| ·硅钼蓝分光光度法 | 第25-26页 |
| ·实验结果与讨论 | 第26-33页 |
| ·SiO_2标准曲线的绘制 | 第26-27页 |
| ·树脂的筛选实验结果 | 第27-29页 |
| ·树脂吸附氯硅烷和HCl的动力学研究 | 第29-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 树脂A1 吸附分离柱的动态吸附三氯氢硅尾气的性能研究 | 第34-45页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·实验部分 | 第34-36页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第34页 |
| ·实验装置 | 第34页 |
| ·实验方法 | 第34-36页 |
| ·动态吸附条件的优化实验 | 第34-35页 |
| ·解吸条件的优化实验 | 第35页 |
| ·A1树脂吸附法分离三氯氢硅合成气的探索 | 第35页 |
| ·A1树脂的耐久性实验 | 第35-36页 |
| ·分析方法 | 第36页 |
| ·实验结果与讨论 | 第36-43页 |
| ·树脂吸附柱吸附条件的优化 | 第36-38页 |
| ·尾气流量的选择 | 第36-37页 |
| ·环境温度的选择 | 第37-38页 |
| ·树脂吸附柱解吸条件的优化结果 | 第38-42页 |
| ·解吸温度的选择 | 第38-39页 |
| ·氮气流量的选择 | 第39-41页 |
| ·解吸时间的选择 | 第41-42页 |
| ·A1树脂吸附三氯氢硅合成气的实验结果 | 第42-43页 |
| ·A1树脂的耐久性实验结果 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 萃淋树脂吸附分离柱的动态吸附三氯氢硅尾气的性能研究 | 第45-54页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·实验部分 | 第45-47页 |
| ·实验试剂和仪器 | 第45页 |
| ·实验装置 | 第45-46页 |
| ·实验方法 | 第46-47页 |
| ·三种树脂吸附氯硅烷和HCl的动态实验 | 第46页 |
| ·三种树脂的解吸实验 | 第46-47页 |
| ·用溶剂S浸泡过的树脂与原树脂对氯硅烷的吸附性能比较 | 第47页 |
| ·实验结果与讨论 | 第47-52页 |
| ·三种树脂吸附氯硅烷和HCl的动态实验结果 | 第47-48页 |
| ·三种树脂脱附氯硅烷的实验结果 | 第48-49页 |
| ·两种方法吸附性能的比较结果 | 第49-52页 |
| ·穿透曲线的比较结果 | 第49-51页 |
| ·解吸率的比较结果 | 第51-52页 |
| ·耐久性的比较结果 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-57页 |
| ·全文总结 | 第54-55页 |
| ·展望 | 第55-57页 |
| 符号说明 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62页 |
