| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-29页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第14-15页 |
| ·KDP 晶体超精密加工技术的研究现状 | 第15-24页 |
| ·KDP 晶体单点金刚石切削加工技术 | 第15-22页 |
| ·KDP 晶体超精密磨削技术 | 第22页 |
| ·KDP 晶体抛光技术 | 第22-24页 |
| ·新型抛光技术简介 | 第24-27页 |
| ·弹性发射加工 | 第25页 |
| ·化学机械抛光 | 第25页 |
| ·气囊抛光 | 第25页 |
| ·等离子体辅助抛光 | 第25-26页 |
| ·无磨料低温抛光 | 第26页 |
| ·离子束抛光 | 第26页 |
| ·电流变抛光 | 第26页 |
| ·超声波磁流变复合抛光 | 第26-27页 |
| ·磁射流抛光 | 第27页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光技术的提出 | 第27页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 基于潮解作用的KDP晶体抛光材料去除机制的研究 | 第29-44页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·KDP 晶体概述 | 第29-32页 |
| ·KDP 晶体的结构 | 第29-31页 |
| ·KDP 晶体的性质 | 第31-32页 |
| ·KDP 晶体的发展历程 | 第32页 |
| ·潮解与溶解现象简介 | 第32-35页 |
| ·潮解现象简介 | 第32-33页 |
| ·溶解现象简介 | 第33-35页 |
| ·KDP 晶体表面溶解实验 | 第35-36页 |
| ·基于潮解作用的KDP晶体抛光材料去除机制 | 第36-37页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光实验 | 第37-43页 |
| ·抛光原理 | 第37-38页 |
| ·抛光过程 | 第38-41页 |
| ·抛光实验 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第3章 基于潮解作用的KDP 晶体抛光中溶解作用控制技术的研究 | 第44-60页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中溶解作用的控制技术 | 第44页 |
| ·抛光液的研究 | 第44-53页 |
| ·对抛光液性能的要求 | 第45-46页 |
| ·抛光液组分的选取 | 第46-47页 |
| ·表面活性剂的选取 | 第47-53页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光实验 | 第53-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第4章 基于潮解作用的KDP晶体抛光的工艺实验研究 | 第60-71页 |
| ·引言 | 第60页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中的变量 | 第60页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中输入变量对材料去除的影响 | 第60-65页 |
| ·KDP 晶体表面初始状况对材料去除率的影响 | 第60-62页 |
| ·抛光时间对材料去除的影响 | 第62-64页 |
| ·抛光盘转数对材料去除率的影响 | 第64-65页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中输入变量对表面粗糙度的影响 | 第65-69页 |
| ·KDP 晶体表面初始状况对表面粗糙度的影响 | 第65-66页 |
| ·抛光时间对表面粗糙度的影响 | 第66-67页 |
| ·抛光盘转数对表面粗糙度的影响 | 第67-68页 |
| ·抛光压力对表面粗糙度的影响 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-71页 |
| 第5章 基于潮解作用的KDP晶体抛光过程的理论研究 | 第71-99页 |
| ·引言 | 第71页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光过程的运动学分析 | 第71-73页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中相对运动轨迹的研究 | 第73-87页 |
| ·r 对运动轨迹的影响 | 第74-78页 |
| ·l 对运动轨迹的影响 | 第78-82页 |
| ·n_p 对运动轨迹的影响 | 第82-85页 |
| ·n_w 对运动轨迹的影响 | 第85-87页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中的相对速度分析 | 第87-93页 |
| ·r 对相对速度的影响 | 第88-89页 |
| ·l 对相对速度的影响 | 第89-90页 |
| ·n_p 对相对速度的影响 | 第90-92页 |
| ·n_w 对相对速度的影响 | 第92-93页 |
| ·基于潮解作用的KDP 晶体抛光中抛光行程的研究 | 第93-97页 |
| ·r 对抛光行程的影响 | 第93-94页 |
| ·l 对抛光行程的影响 | 第94-95页 |
| ·n_p 对抛光行程的影响 | 第95-96页 |
| ·n_w 对抛光行程的影响 | 第96-97页 |
| ·本章小结 | 第97-99页 |
| 结论 | 第99-101页 |
| 参考文献 | 第101-109页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第109-111页 |
| 致谢 | 第111-112页 |
| 个人简历 | 第112页 |
