1.55微米激光MEMS扫描外差干涉仪研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第8页 |
| ·外差干涉仪国外研究现状 | 第8-11页 |
| ·外差干涉仪国内研究现状 | 第11页 |
| ·外差干涉仪的发展趋势 | 第11-13页 |
| ·本文主要内容 | 第13-14页 |
| 第2章 外差干涉仪基本原理 | 第14-26页 |
| ·激光外差探测的理论基础 | 第14-18页 |
| ·激光外差探测基本原理 | 第14-15页 |
| ·激光外差探测的外差效率 | 第15-18页 |
| ·外差干涉仪相位提取方法 | 第18-21页 |
| ·软件取值法 | 第18-19页 |
| ·参考比相法 | 第19-20页 |
| ·正交解调法 | 第20-21页 |
| ·平衡接收消除共模噪声 | 第21-24页 |
| ·光学扫描原理 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 外差干涉仪非线性误差分析 | 第26-44页 |
| ·外差干涉仪频率混叠误差 | 第26-30页 |
| ·声光移频器非线性误差分析 | 第30-32页 |
| ·声光移频器强度调制对外差干涉仪的影响 | 第30-31页 |
| ·光束飘移对测量精度的影响 | 第31-32页 |
| ·偏振分束棱镜误差分析 | 第32-37页 |
| ·偏振分束棱镜频率泄露误差分析 | 第32-35页 |
| ·偏振分束棱镜存在放置误差 | 第35-37页 |
| ·偏振器非线性误差分析 | 第37-43页 |
| ·起偏器对外差干涉仪非线性误差的影响 | 第37-39页 |
| ·起偏器放置误差的影响 | 第37页 |
| ·起偏器相位延迟误差 | 第37-39页 |
| ·检偏器旋转误差分析 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 1.55 微米激光MEMS扫描外差实验 | 第44-54页 |
| ·实验系统设计 | 第44-49页 |
| ·实验原理示意图 | 第44-45页 |
| ·光纤无源器件的应用 | 第45-46页 |
| ·声光移频器件的应用 | 第46-47页 |
| ·光电接收模块 | 第47-49页 |
| ·实验系统调试 | 第49-50页 |
| ·MEMS扫描外差实验 | 第50-53页 |
| ·MEMS~f-θ扫描系统性能测试 | 第50-52页 |
| ·系统扫描实验 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
