| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-23页 |
| ·纳米材料的概念及制备方法简介 | 第11-14页 |
| ·纳米材料的概念 | 第11-12页 |
| ·纳米材料的制备方法 | 第12-14页 |
| ·介孔材料 | 第14-17页 |
| ·孔材料简介 | 第14页 |
| ·介孔材料的合成 | 第14-15页 |
| ·模板剂的选择 | 第15-16页 |
| ·模板剂的去除 | 第16-17页 |
| ·氧化锌薄膜的应用领域 | 第17-18页 |
| ·ZnO 薄膜的PN 结特性 | 第17页 |
| ·ZnO 薄膜的的气敏特性 | 第17页 |
| ·ZnO 薄膜的光电特性 | 第17页 |
| ·ZnO 薄膜的压敏特性 | 第17-18页 |
| ·氧化锌薄膜的气敏机理 | 第18-19页 |
| ·原子价控制模型 | 第18页 |
| ·表面电荷层模型 | 第18-19页 |
| ·晶粒间界势垒模型 | 第19页 |
| ·ZnO 的基本性质及ZnO 气敏传感器的研究进展 | 第19-21页 |
| ·ZnO 的基本性质 | 第19-20页 |
| ·ZnO 气敏传感器的研究进展 | 第20-21页 |
| ·本论文的研究思路和主要的研究内容 | 第21-23页 |
| 第2章 实验方法及实验过程 | 第23-31页 |
| ·实验设备及仪器 | 第23页 |
| ·实验原料 | 第23-24页 |
| ·实验配方 | 第24-25页 |
| ·ZnO 粉体的制备 | 第25-26页 |
| ·ZnO 薄膜元件的制备 | 第26-28页 |
| ·纳米材料的检测技术 | 第28-30页 |
| ·X 射线衍射分析 | 第28-29页 |
| ·纳米粉体颗粒形态的透射电子显微镜分析 | 第29页 |
| ·纳米粉体颗粒形态的场发射扫描电子显微镜分析 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 ZnO 粉体的制备及表征 | 第31-46页 |
| ·ZnO 粉体的XRD 分析 | 第31-41页 |
| ·不同醋酸锌浓度制得的ZnO 颗粒的XRD 分析 | 第31-33页 |
| ·不同烧结温度制得的ZnO 颗粒的XRD 分析 | 第33-35页 |
| ·模板剂的加入量对ZnO 粉体结构的影响 | 第35-37页 |
| ·不同水浴温度对ZnO 粉体结构的影响 | 第37-38页 |
| ·不同煅烧时间对ZnO 粉体结构的影响 | 第38-40页 |
| ·不同分子量的PEG 对ZnO 粉体结构的影响 | 第40-41页 |
| ·ZnO 粉体的透射电镜分析 | 第41-45页 |
| ·不同醋酸锌浓度制得的ZnO 颗粒的TEM 分析 | 第42-43页 |
| ·不同烧结温度制得的ZnO 颗粒的TEM 分析 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 介孔ZnO 薄膜的形貌分析 | 第46-57页 |
| ·介孔ZnO 薄膜样品扫描电子显微镜分析 | 第46-54页 |
| ·醋酸锌浓度对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第46-48页 |
| ·PEG 加入量对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第48-49页 |
| ·水浴温度对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第49-50页 |
| ·PEG 相对分子量对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第50-52页 |
| ·煅烧温度对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第52-53页 |
| ·烧结时间对介孔ZnO 薄膜形貌的影响 | 第53-54页 |
| ·介孔ZnO 粉体的比表面积测定 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 介孔ZnO 薄膜的气敏特性测试 | 第57-73页 |
| ·前言 | 第57-58页 |
| ·前期准备 | 第58-61页 |
| ·实验设备及仪器 | 第58-59页 |
| ·气敏传感器测试的基本理论依据 | 第59-60页 |
| ·常见传感器的技术指标 | 第60页 |
| ·气体浓度配置 | 第60-61页 |
| ·介孔ZnO 气敏传感器的制备 | 第61-62页 |
| ·介孔ZnO 气敏传感器的性能测试及作用机理分析 | 第62-72页 |
| ·加热电压与灵敏度的关系 | 第62-63页 |
| ·不同烧结温度下气敏元件的响应-恢复曲线 | 第63-66页 |
| ·不同烧结温度下气敏元件对不同气体的灵敏度 | 第66-67页 |
| ·Zn(CH_3COO)_2 浓度对薄膜元件气敏性的影响 | 第67-69页 |
| ·模板剂 PEG 的质量对薄膜元件气敏性的影响 | 第69-70页 |
| ·不同乙醇浓度下气敏元件的响应-恢复特性 | 第70页 |
| ·不同浓度的不同气体的灵敏度曲线 | 第70-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 结论 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-80页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第80-81页 |
| 致 谢 | 第81-82页 |
| 作者简介 | 第82页 |