ICP光源中阻抗匹配的研究
| 作者简介 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| ABSTRACT | 第8-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·课题的来源 | 第12页 |
| ·课题的研究目的 | 第12-13页 |
| ·国内外研究现状 | 第13-15页 |
| ·国外研究现状及发展趋势 | 第13-14页 |
| ·国内研究现状及发展趋势 | 第14-15页 |
| ·存在的问题 | 第15页 |
| ·课题研究内容 | 第15-18页 |
| ·全固态ICP光源的结构 | 第15-16页 |
| ·课题研究的内容 | 第16-18页 |
| 第二章 传输线理论 | 第18-25页 |
| ·传输线理论的本质 | 第18-19页 |
| ·阻抗匹配原理 | 第19-22页 |
| ·阻抗匹配原理 | 第19-20页 |
| ·阻抗失配状态实验 | 第20-21页 |
| ·Smith圆图 | 第21-22页 |
| ·ICP光源中应用的传输线 | 第22-25页 |
| ·双绞线 | 第22页 |
| ·微带线 | 第22-23页 |
| ·同轴电缆 | 第23-25页 |
| 第三章 射频电源中的阻抗匹配 | 第25-40页 |
| ·射频电源的整体结构 | 第25-27页 |
| ·射频电源的结构 | 第25-26页 |
| ·射频电源的工作模式 | 第26-27页 |
| ·信号源的设计 | 第27-31页 |
| ·信号产生电路 | 第27-29页 |
| ·信号调理电路 | 第29-30页 |
| ·板级传输电路 | 第30-31页 |
| ·功率放大器的设计 | 第31-36页 |
| ·功率放大电路 | 第31-33页 |
| ·阻抗变换器 | 第33-35页 |
| ·功率放大器实验 | 第35-36页 |
| ·功率合成器的设计 | 第36-38页 |
| ·功率合成原理 | 第36-37页 |
| ·功率合成电路 | 第37页 |
| ·非平衡电流检测 | 第37-38页 |
| ·射频电源功率输出实验 | 第38-40页 |
| 第四章 负载匹配箱的设计 | 第40-54页 |
| ·负载匹配箱的结构 | 第40-41页 |
| ·阻抗匹配网络 | 第41-46页 |
| ·等离子体互感模型 | 第41-42页 |
| ·阻抗匹配网络模型 | 第42-44页 |
| ·参数仿真计算 | 第44-46页 |
| ·相位检测装置的设计 | 第46-51页 |
| ·负载阻抗性质 | 第46-47页 |
| ·相位检测装置结构 | 第47-48页 |
| ·采样及信号调理电路 | 第48-49页 |
| ·相位检测器 | 第49-50页 |
| ·移相电路 | 第50-51页 |
| ·自动阻抗匹配 | 第51-52页 |
| ·长期稳定性实验 | 第52-54页 |
| 第五章 总结与展望 | 第54-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
