摘要 | 第5-6页 |
Abstract | 第6-7页 |
第一章 绪论 | 第14-21页 |
1.1 研究背景 | 第14-17页 |
1.1.1 能源问题与可控核聚变研究 | 第14-15页 |
1.1.2 中性束注入系统 | 第15-17页 |
1.2 选题依据和意义 | 第17-18页 |
1.3 国内外研究现状 | 第18-19页 |
1.4 研究内容 | 第19页 |
1.5 论文结构安排 | 第19-21页 |
第二章 大功率RF离子源功率馈入特性分析 | 第21-41页 |
2.1 大功率RF离子源功率馈入系统 | 第21-25页 |
2.1.1 RF离子源的耦合方式 | 第21-23页 |
2.1.2 大功率RF离子源驱动器 | 第23-24页 |
2.1.3 大功率RF离子源功率馈入系统的组成 | 第24-25页 |
2.2 大功率RF离子源功率馈入系统各单元原理分析 | 第25-30页 |
2.2.1 大功率射频功率源 | 第25-26页 |
2.2.2 阻抗匹配网络 | 第26-29页 |
2.2.3 RF离子源驱动器放电原理 | 第29-30页 |
2.3 RF离子源放电模拟和最大功率馈入研究 | 第30-40页 |
2.3.1 RF离子源放电模拟研究 | 第30-34页 |
2.3.2 基于变压器模型驱动器阻抗特性分析 | 第34-37页 |
2.3.3 RF离子源最大射频功率馈入分析 | 第37-40页 |
2.4 本章小结 | 第40-41页 |
第三章 大功率RF离子源功率馈入关键技术研究 | 第41-79页 |
3.1 阻抗匹配网络的设计 | 第41-48页 |
3.1.1 匹配网络的设计原则 | 第42-44页 |
3.1.2 L型阻抗匹配网络 | 第44-46页 |
3.1.3 带隔离变压器型阻抗匹配网络 | 第46-48页 |
3.2 大功率射频隔离传输技术研究 | 第48-66页 |
3.2.1 大功率高隔离等级射频隔离变压器的设计 | 第49-55页 |
3.2.2 射频隔离变压器的研制和测试及分析 | 第55-62页 |
3.2.3 带隔离变压器型阻抗匹配网络验证分析 | 第62-66页 |
3.3 阻抗匹配网络的参数设计与匹配调谐分析研究 | 第66-71页 |
3.3.1 驱动器线圈电气参数随负载阻抗变化规律 | 第66-67页 |
3.3.2 两种类型匹配网络电容电气参数对比分析 | 第67-69页 |
3.3.3 适应驱动器等效阻抗变化的匹配调节分析 | 第69-71页 |
3.4 阻抗匹配网络设计的仿真研究 | 第71-78页 |
3.4.1 仿真模型的建立 | 第72-75页 |
3.4.2 仿真结果及分析 | 第75-78页 |
3.5 本章小结 | 第78-79页 |
第四章 大功率RF离子源功率馈入实验研究 | 第79-107页 |
4.1 大功率RF离子源测试平台的搭建 | 第79-83页 |
4.2 初始等离子体激发过程中的射频功率馈入实验研究 | 第83-88页 |
4.2.1 大功率RF离子源初始等离子体激发分析 | 第83页 |
4.2.2 高气压辅助下射频功率馈入实验研究 | 第83-86页 |
4.2.3 启动灯丝辅助下射频功率馈入实验研究 | 第86-88页 |
4.3 阻抗匹配特性及调谐实验研究 | 第88-99页 |
4.3.1 驱动器阻抗特性探究 | 第88-92页 |
4.3.2 初始等离子体激发暂态过程阻抗变化的研究 | 第92-96页 |
4.3.3 最佳阻抗匹配的调谐 | 第96-99页 |
4.4 最佳阻抗匹配下射频功率馈入实验研究 | 第99-106页 |
4.4.1 基于诊断工具的射频功率馈入实验研究 | 第99-102页 |
4.4.2 射频隔离变压器传输效率研究 | 第102-104页 |
4.4.3 射频离子源高功率和长脉冲运行实验 | 第104-106页 |
4.5 本章小结 | 第106-107页 |
第五章 总结与展望 | 第107-110页 |
5.1 总结 | 第107-108页 |
5.2 本论文的创新点 | 第108页 |
5.3 展望 | 第108-110页 |
参考文献 | 第110-114页 |
致谢 | 第114-116页 |
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第116页 |