首页--数理科学和化学论文--物理学论文--光学论文--物理光学(波动光学)论文--偏振与色散论文

亚波长角向偏振金属光栅设计方法与制造技术研究

摘要第4-6页
abstract第6-7页
第1章 引言第15-35页
    1.1 研究背景第15-16页
    1.2 国内外研究进展第16-33页
        1.2.1 角向偏振光第16-23页
        1.2.2 亚波长角向偏振光栅第23-25页
        1.2.3 亚波长光栅的设计理论及典型结构第25-33页
    1.3 论文的主要研究内容和结构安排第33-35页
        1.3.1 论文的主要研究内容第33-34页
        1.3.2 论文结构安排第34-35页
第2章 亚波长光栅分析方法第35-47页
    2.1 引言第35页
    2.2 亚波长光栅偏振特性第35-38页
        2.2.1 亚波长介质光栅偏振选择特性第36-37页
        2.2.2 亚波长金属光栅偏振选择特性第37-38页
    2.3 严格耦合波分析第38-44页
        2.3.1 单层矩形光栅模型第39-42页
        2.3.2 多层梯形光栅模型第42-44页
    2.4 粒子群算法第44-45页
    2.5 本章小结第45-47页
第3章 亚波长角向偏振金属光栅设计第47-73页
    3.1 引言第47-48页
    3.2 光栅的热效应分析第48-50页
        3.2.1 导热性与光栅材料的选择第48-49页
        3.2.2 热膨胀对器件形变的影响第49-50页
    3.3 基于粒子群的光栅参数优化第50-53页
        3.3.1 PSO基本流程第51-52页
        3.3.2 适应度的设定第52页
        3.3.3 速度设定第52-53页
    3.4 设计结果与分析第53-63页
        3.4.1 光谱衍射效率分析第53-55页
        3.4.2 加工容差分析第55-59页
        3.4.3 算法效率分析第59-63页
    3.5 设计算法的改进第63-71页
        3.5.1 惯性权重因子第63页
        3.5.2 基于粒子位置调整惯性权重的分步粒子群算法第63-67页
        3.5.3 收敛速度与准确性第67-71页
    3.6 本章小结第71-73页
第4章 金属光栅的电沉积及其质量控制第73-97页
    4.1 引言第73页
    4.2 金属光栅沉积高度的控制第73-83页
        4.2.1 金属电沉积速率第73-74页
        4.2.2 金属光栅电沉积在线监测第74-83页
    4.3 金属光栅沉积质量的影响因素第83-95页
        4.3.1 金属光栅栅条表面粗糙度第83-85页
        4.3.2 电流密度的影响第85-87页
        4.3.3 引入超声的金属电沉积第87-95页
    4.4 本章小结第95-97页
第5章 亚波长角向偏振金属光栅的制作第97-111页
    5.1 引言第97页
    5.2 光刻胶光栅的制作第97-104页
        5.2.1 匀胶参数的确定第98-100页
        5.2.2 曝光掩模版设计第100-102页
        5.2.3 烘胶时间、曝光显影参数的确定第102-104页
    5.3 Au的电沉积第104-109页
        5.3.1 Au电沉积系统参数第104-105页
        5.3.2 Au电沉积第105-107页
        5.3.3 后处理工艺第107-109页
    5.4 本章小结第109-111页
第6章 总结与展望第111-113页
    6.1 论文工作总结第111页
    6.2 展望第111-113页
参考文献第113-121页
致谢第121-123页
作者简历及攻读学位期间发表的学术论文与研究成果第123页

论文共123页,点击 下载论文
上一篇:基于压缩感知的编码孔径光谱成像技术研究
下一篇:布里渊光谱频域-空域调控关键技术研究