非晶碳膜的制备和研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
图表清单	第8-10页
第一章 绪论	第10-15页
·选题背景及意义	第10-11页
·非晶碳膜的应用	第11-12页
·非晶碳膜的研究现状	第12-13页
·本论文研究的主要内容	第13-15页
第二章 样品制备手段和性能测试方式	第15-22页
·制备手段	第15-17页
·样品制备仪器介绍	第15-16页
·样品制备过程	第16-17页
·样品的性能测试	第17-22页
·X 射线衍射（XRD）分析	第17-18页
·Raman 散射分析	第18-19页
·扫描探针显微镜（SPM）分析	第19-20页
·台阶仪分析	第20-22页
第三章 制备参数对薄膜结构与性质影响的研究	第22-35页
·引言	第22-23页
·实验	第23-24页
·结果与讨论	第24-34页
·气体流量比	第24-29页
·微波功率	第29-31页
·沉积气压	第31-34页
·本章小结	第34-35页
第四章 非晶碳膜的热稳定性研究	第35-47页
·引言	第35页
·实验	第35-36页
·结果与讨论	第36-46页
·本章小结	第46-47页
第五章 总结和展望	第47-49页
·总结	第47-48页
·展望	第48-49页
参考文献	第49-54页
致谢	第54-55页
攻读硕士学位期间发表论文情况	第55页