| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-23页 |
| 1.1 引言 | 第9-14页 |
| 1.2 课题研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.2.1 课题研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2.2 课题研究意义 | 第15-16页 |
| 1.3 静电微驱动的研究现状 | 第16-18页 |
| 1.4 基于氮化镓的静电微驱动器的研究现状 | 第18-20页 |
| 1.5 MEMS设计分析技术的发展现状 | 第20-21页 |
| 1.6 论文的主要工作和研究内容 | 第21-23页 |
| 第二章 MEMS微驱动器原理 | 第23-35页 |
| 2.1 前言 | 第23页 |
| 2.2 微驱动器原理 | 第23-26页 |
| 2.2.1 压电微驱动器 | 第23-24页 |
| 2.2.2 电磁微驱动器 | 第24-25页 |
| 2.2.3 热微驱动器 | 第25-26页 |
| 2.2.4 形状记忆合金微驱动器 | 第26页 |
| 2.3 静电微驱动器原理 | 第26-32页 |
| 2.3.1 平行板电容静电微驱动器 | 第26-29页 |
| 2.3.2 梳状电容静电微驱动器 | 第29-32页 |
| 2.4 几种微驱动器的比较 | 第32-33页 |
| 2.5 静电微驱动器特点以及面临的挑战 | 第33-34页 |
| 2.5.1 静电微驱动器特点 | 第33页 |
| 2.5.2 静电微驱动器面临的挑战 | 第33-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 基于氮化镓静电梳状微驱动器的模拟仿真分析 | 第35-50页 |
| 3.1 前言 | 第35页 |
| 3.2 有限元法 | 第35-36页 |
| 3.2.1 有限元法原理 | 第35-36页 |
| 3.2.2 有限元法特点 | 第36页 |
| 3.3 基于硅基氮化镓的静电梳状微驱动器的二维仿真分析 | 第36-41页 |
| 3.3.1 模型的建立 | 第36-38页 |
| 3.3.2 静电梳状微驱动器的二维仿真分析 | 第38-41页 |
| 3.4 基于氮化镓的静电梳状微驱动器的三维仿真分析和模态分析 | 第41-49页 |
| 3.4.1 基于氮化镓的静电梳状微驱动器的三维仿真分析 | 第41-44页 |
| 3.4.2 基于氮化镓的静电梳状微驱动器的模态分析 | 第44-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 基于硅基氮化镓静电微驱动器的可调微镜设计和仿真分析 | 第50-62页 |
| 4.1 前言 | 第50页 |
| 4.2 微镜阵列的应用 | 第50-52页 |
| 4.3 基于硅基氮化镓静电微驱动器的可调微镜设计 | 第52-54页 |
| 4.4 基于硅基氮化镓正交静电微驱动器的理论分析 | 第54-58页 |
| 4.4.1 弹性支撑横梁的弹性系数 | 第54-56页 |
| 4.4.2 基于硅基氮化镓正交静电微驱动器的耦合位移分析 | 第56-58页 |
| 4.5 基于硅基氮化镓正交静电微驱动器的仿真结果分析 | 第58-61页 |
| 4.6 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 总结与展望 | 第62-64页 |
| 5.1 工作总结 | 第62-63页 |
| 5.2 展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 附录１ 攻读硕士学位期间撰写的论文 | 第67-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
