| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 超硬刀具材料的国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 立方氮化硼刀具材料研究现状 | 第11-13页 |
| 1.2.2 金刚石刀具材料研究现状 | 第13-15页 |
| 1.3 聚焦离子束技术微刀具制备的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.4 论文的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 聚焦离子束加工技术基础及加工仿真 | 第18-34页 |
| 2.1 聚焦离子束系统组成 | 第18-19页 |
| 2.2 离子束加工原理 | 第19-20页 |
| 2.3 离子束溅射机理 | 第20-23页 |
| 2.3.1 离子束轮廓 | 第20-21页 |
| 2.3.2 离子碰撞过程中的能量交换 | 第21-22页 |
| 2.3.3 离子溅射产额 | 第22-23页 |
| 2.4 针对立方氮化硼和金刚石材料的离子束溅射仿真 | 第23-32页 |
| 2.4.1 基本仿真原理及SRIM软件 | 第23-24页 |
| 2.4.2 不同入射离子数下c BN和金刚石靶材的溅射产额 | 第24-25页 |
| 2.4.3 不同离子入射能量下c BN和金刚石靶材的溅射产额 | 第25-26页 |
| 2.4.4 不同离子入射角度下c BN和金刚石靶材的溅射产额 | 第26-28页 |
| 2.4.5 离子轰击后靶材表层损伤的研究 | 第28-32页 |
| 2.5 本章小结 | 第32-34页 |
| 第3章 刀具胚材材料去除工艺探索 | 第34-50页 |
| 3.1 机械研磨表层材料去除方法探索 | 第34-38页 |
| 3.1.1 机械研磨实验设备及加工工艺 | 第34-35页 |
| 3.1.2 机械研磨实验结果及分析 | 第35-37页 |
| 3.1.3 机械研磨表面质量及相变的研究 | 第37-38页 |
| 3.2 离子束溅射表层材料去除方法探索 | 第38-43页 |
| 3.2.1 实验设备及样品制备 | 第39-40页 |
| 3.2.2 离子束溅射抛光结果及分析 | 第40-42页 |
| 3.2.3 离子束溅射抛光后的表面质量及相变问题 | 第42-43页 |
| 3.3 激光烧蚀表层材料去除方法探索 | 第43-47页 |
| 3.3.1 激光光源选择和实验设备 | 第43-44页 |
| 3.3.2 激光烧蚀实验结果及分析 | 第44-46页 |
| 3.3.3 激光加工后表面质量及相变问题 | 第46-47页 |
| 3.4 三种表层材料去除方法的实验结果对比 | 第47-48页 |
| 3.5 本章小结 | 第48-50页 |
| 第4章 基于飞秒激光的纳米孪晶材料微刀具粗加工技术 | 第50-62页 |
| 4.1 针对nt-c BN材料飞秒激光烧蚀阈值的研究 | 第50-54页 |
| 4.1.1 烧蚀阈值的计算方法 | 第50-51页 |
| 4.1.2 烧蚀阈值的计算 | 第51-54页 |
| 4.2 飞秒激光直线微槽加工 | 第54-57页 |
| 4.3 刀具胚材制备的激光实验设计 | 第57-61页 |
| 4.4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第5章 基于FIB的纳米孪晶材料微刀具加工技术 | 第62-78页 |
| 5.1 FIB加工平台 | 第62-63页 |
| 5.2 微刀具精加工方案设计 | 第63-67页 |
| 5.3 nt-c BN和nt-diamond刀具的成形 | 第67-69页 |
| 5.4 刀具刃口锋利度检测 | 第69-70页 |
| 5.5 nt-diamond直线刃刀具微结构加工 | 第70-77页 |
| 5.5.1 被切削材料及实验设备 | 第70-71页 |
| 5.5.2 PMMA矩形槽微结构切削加工 | 第71-73页 |
| 5.5.3 Cu矩形槽和环形槽微结构的加工 | 第73-75页 |
| 5.5.4 Zn S材料平面切削加工 | 第75-77页 |
| 5.6 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-84页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 作者简介 | 第86页 |
