| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 前言 | 第8-24页 |
| 1.1 透明导电氧化物薄膜概述 | 第8-10页 |
| 1.1.1 FTO 薄膜 | 第8-9页 |
| 1.1.2 AZO 薄膜 | 第9-10页 |
| 1.2 玻尔兹曼输运方程 | 第10-16页 |
| 1.2.1 电阻率 | 第11-12页 |
| 1.2.2 热电势 | 第12-16页 |
| 1.3 量子效应对电导率的修正 | 第16-22页 |
| 1.3.1 弱局域效应 | 第16-21页 |
| 1.3.2 电子-电子相互作用 | 第21-22页 |
| 1.4 退火对 TCO 薄膜光电性质的影响 | 第22-23页 |
| 1.5 本论文的主要工作 | 第23-24页 |
| 第二章 样品制备与表征 | 第24-34页 |
| 2.1 样品热处理条件 | 第24页 |
| 2.2 样品的表征 | 第24-34页 |
| 2.2.1 样品的厚度测量 | 第24页 |
| 2.2.2 样品的结构表征 | 第24-25页 |
| 2.2.3 样品的形貌表征 | 第25-28页 |
| 2.2.4 光学性质测量 | 第28-29页 |
| 2.2.5 电学性质测量 | 第29-34页 |
| 第三章 FTO 薄膜的物性研究 | 第34-50页 |
| 3.1 FTO 薄膜的成分、结构及形貌分析 | 第34-37页 |
| 3.1.1 FTO 薄膜的成分分析 | 第34-35页 |
| 3.1.2 FTO 薄膜的 XRD 结果分析 | 第35页 |
| 3.1.3 FTO 薄膜的 SEM 以及 AFM 结果分析 | 第35-37页 |
| 3.2 FTO 薄膜的光学结果分析 | 第37-39页 |
| 3.2.1 FTO 薄膜的透射谱及光学带隙 | 第37-38页 |
| 3.2.2 FTO 薄膜的光致发光性质 | 第38-39页 |
| 3.3 FTO 薄膜的电输运性质研究 | 第39-49页 |
| 3.3.1 FTO 薄膜的金属导电特性 | 第39-45页 |
| 3.3.2 FTO 薄膜的量子效应对电导率的修正 | 第45-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 退火对透明导电氧化物薄膜性能的影响 | 第50-65页 |
| 4.1 退火对 FTO 薄膜结构和光电性能的影响 | 第50-61页 |
| 4.1.1 退火对 FTO 薄膜结构和形貌的影响 | 第50-53页 |
| 4.1.2 退火对 FTO 薄膜光学性质的影响 | 第53-56页 |
| 4.1.3 退火对 FTO 薄膜电学性质的影响 | 第56-61页 |
| 4.2 退火对 AZO 薄膜结构和光电性能的影响 | 第61-64页 |
| 4.2.1 退火对 AZO 薄膜形貌的影响 | 第62页 |
| 4.2.2 退火对 AZO 薄膜光学性质的影响 | 第62-63页 |
| 4.2.3 退火对 AZO 薄膜电学性质的影响 | 第63-64页 |
| 4.3 本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-74页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |