| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-18页 |
| ·课题的研究背景和意义 | 第12-13页 |
| ·研究现状概述 | 第13-17页 |
| ·热电堆红外探测器的国外研究现状 | 第13-15页 |
| ·热电堆红外探测器的国内研究现状 | 第15-17页 |
| ·主要研究工作 | 第17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第二章 红外技术及红外探测器概述 | 第18-29页 |
| ·红外辐射理论 | 第18-20页 |
| ·红外探测器概述 | 第20-22页 |
| ·红外探测器的分类与特点 | 第20-21页 |
| ·红外探测器的性能参数 | 第21-22页 |
| ·热电堆红外探测器的工作原理 | 第22-24页 |
| ·热电堆红外探测器的器件结构设计 | 第24-25页 |
| ·热电堆红外探测器的材料选择方法 | 第25-28页 |
| ·热偶材料的选择 | 第25-27页 |
| ·介质支撑膜的选择 | 第27-28页 |
| ·本章小节 | 第28-29页 |
| 第三章 热电堆红外探测器热稳态分析与有限元仿真 | 第29-48页 |
| ·热电堆红外探测器一维热稳态热传导模型分析 | 第29-44页 |
| ·热电堆红外探测器理论分析模型的建立 | 第29-35页 |
| ·热电堆红外探测器的结构参数设计 | 第35-44页 |
| ·热电堆红外探测器结构的有限元模拟 | 第44-47页 |
| ·热电堆红外探测器结构的静态有限元仿真 | 第44-46页 |
| ·热电堆红外探测器结构的瞬态有限元仿真 | 第46-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第四章 热电堆红外探测器的工艺设计与加工 | 第48-71页 |
| ·热电堆红外探测器关键工艺的单项实验 | 第48-60页 |
| ·热电堆红外探测器介质支撑膜的制备单项实验 | 第49-51页 |
| ·热电堆红外探测器背腔腐蚀Si方案验证实验 | 第51-53页 |
| ·热电堆红外探测器多晶硅热偶条方阻测试单项实验 | 第53-56页 |
| ·热电堆红外探测器多晶硅、SiN_x的刻蚀条件单项实验 | 第56-58页 |
| ·热电堆红外探测器钝化层制备的单项实验 | 第58-59页 |
| ·热电堆红外探测器反射层制备的单项实验 | 第59-60页 |
| ·热电堆红外探测器的工艺流程 | 第60-63页 |
| ·热电堆红外探测器的版图设计 | 第63-67页 |
| ·热电堆红外探测器的加工与制作 | 第67-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 热电堆红外探测器的性能测试 | 第71-87页 |
| ·热电堆红外探测器红外透射谱的测试 | 第71-73页 |
| ·热电堆红外探测器的测试原理及电路设计 | 第73-75页 |
| ·热电堆红外探测器测试系统搭建 | 第73页 |
| ·热电堆红外探测器外围电路的设计与分析 | 第73-75页 |
| ·热电堆红外探测器的性能测试 | 第75-85页 |
| ·热电堆红外探测器不同结构尺寸性能测试对比实验 | 第75-78页 |
| ·热电堆红外探测器频率响应特性实验 | 第78-80页 |
| ·热电堆红外探测器黑体炉温度响应测试 | 第80-82页 |
| ·热电堆红外探测器吸收层红外吸收特性对比实验 | 第82-84页 |
| ·热电堆红外探测器反射层覆盖性能对比实验 | 第84-85页 |
| ·本章小结 | 第85-87页 |
| 第六章 结论与展望 | 第87-89页 |
| 1. 研究工作总结 | 第87-88页 |
| 2. 本文的创新点 | 第88页 |
| 3. 工作展望 | 第88-89页 |
| 参考文献 | 第89-94页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第94-96页 |
| 致谢 | 第96页 |