| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 金刚石的结构、性能及应用 | 第9-10页 |
| 1.2.1 金刚石的结构 | 第9-10页 |
| 1.2.2 金刚石的性质及应用 | 第10页 |
| 1.3 金刚石薄膜的残余应力 | 第10-17页 |
| 1.3.1 薄膜应力的产生 | 第10-12页 |
| 1.3.2 金刚石薄膜的热膨胀系数 | 第12-13页 |
| 1.3.3 薄膜应力的测试手段 | 第13-17页 |
| 1.4 本课题的研究意义和内容 | 第17-19页 |
| 2 样品的制备与表征 | 第19-27页 |
| 2.1 金刚石薄膜的沉积 | 第19-20页 |
| 2.1.1 沉积设备 | 第19-20页 |
| 2.1.2 沉积原理 | 第20页 |
| 2.2 实验过程 | 第20-22页 |
| 2.2.1 实验材料 | 第20页 |
| 2.2.2 基体预处理 | 第20-21页 |
| 2.2.3 实验流程图 | 第21-22页 |
| 2.3 样品的表征与测试 | 第22-27页 |
| 2.3.1 扫描电子显微镜 | 第22页 |
| 2.3.2 能量色散谱分析仪 | 第22-23页 |
| 2.3.3 电子探针显微分析仪 | 第23-24页 |
| 2.3.4 X射线衍射分析仪 | 第24-25页 |
| 2.3.5 激光拉曼光谱分析仪 | 第25-26页 |
| 2.3.6 光学显微镜 | 第26-27页 |
| 3 工艺条件对Mo箔上金刚石薄膜特性的影响 | 第27-44页 |
| 3.1 沉积温度对Mo箔金刚石薄膜的影响 | 第27-31页 |
| 3.1.1 金刚石薄膜的SEM分析 | 第27-30页 |
| 3.1.2 金刚石薄膜的Raman光谱的分析 | 第30-31页 |
| 3.1.3 金刚石薄膜的XRD物相分析 | 第31页 |
| 3.2 甲烷浓度对Mo箔上金刚石薄膜的影响 | 第31-35页 |
| 3.2.1 金刚石薄膜的SEM分析 | 第32-33页 |
| 3.2.2 金刚石薄膜的Raman光谱分析 | 第33-34页 |
| 3.2.3 金刚石薄膜的XRD物相分析 | 第34-35页 |
| 3.3 薄膜厚度对Mo箔上金刚石薄膜的影响 | 第35-39页 |
| 3.3.1 金刚石薄膜的SEM分析 | 第35-36页 |
| 3.3.2 金刚石薄膜的Raman光谱分析 | 第36-37页 |
| 3.3.3 金刚石薄膜的XRD物相分析 | 第37-38页 |
| 3.3.4 金刚石薄膜表面的EDS分析 | 第38-39页 |
| 3.4 基体厚度对金刚石薄膜的影响 | 第39-42页 |
| 3.4.1 金刚石薄膜的SEM分析 | 第40页 |
| 3.4.2 金刚石薄膜的Raman光谱分析 | 第40-41页 |
| 3.4.3 金刚石薄膜的XRD物相分析 | 第41-42页 |
| 3.5 本章小结 | 第42-44页 |
| 4 Mo箔上金刚石薄膜残余应力的研究 | 第44-66页 |
| 4.1 沉积温度对Mo箔上金刚石薄膜残余应力的影响 | 第45-52页 |
| 4.1.1 薄膜残余应力的分析 | 第45-48页 |
| 4.1.2 钼基体残余应力的分析 | 第48-49页 |
| 4.1.3 薄膜与基体应力之间的匹配关系 | 第49-52页 |
| 4.2 基体表面预处理对Mo箔上金刚石薄膜残余应力的影响 | 第52-56页 |
| 4.2.1 基体的光学显微镜分析 | 第53页 |
| 4.2.2 金刚石薄膜的Raman光谱分析 | 第53-55页 |
| 4.2.3 金刚石薄膜的残余应力分析 | 第55-56页 |
| 4.3 降温速度对Mo箔上金刚石薄膜残余应力的影响 | 第56-60页 |
| 4.3.1 金刚石薄膜的Raman光谱分析 | 第57-58页 |
| 4.3.2 金刚石薄膜的残余应力分析 | 第58-59页 |
| 4.3.3 脱层金刚石薄膜的残余应力分析 | 第59-60页 |
| 4.4 薄膜厚度对Mo箔上金刚石薄膜残余应力的影响 | 第60-63页 |
| 4.5 基体厚度对金刚石薄膜残余应力的影响 | 第63-65页 |
| 4.6 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-73页 |
| 攻读学位期间主要的研究成果 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74页 |
