铁芯式直线电机定位力扰动的模型辨识与补偿方法
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-9页 |
| 1.2 国内外光刻机发展概况 | 第9-11页 |
| 1.3 直线电机定位力扰动国内外研究现状 | 第11-15页 |
| 1.3.1 直线电机定位力的模型辨识研究 | 第12-14页 |
| 1.3.2 直线电机定位力的补偿方法研究 | 第14-15页 |
| 1.4 本文的研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 直线电机定位力扰动模型辨识 | 第17-26页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 直线电机原理概述 | 第17-19页 |
| 2.3 铁芯式直线电机定位力扰动分析 | 第19-22页 |
| 2.4 铁芯式直线电机定位力扰动模型辨识 | 第22-25页 |
| 2.4.1 目标电机平台辨识实验设计 | 第22-23页 |
| 2.4.2 定位力扰动模型辨识 | 第23-25页 |
| 2.5 本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 基于模型与迭代学习的补偿控制器设计 | 第26-42页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 内模控制原理 | 第26-28页 |
| 3.3 内模补偿控制器设计 | 第28-34页 |
| 3.3.1 改进型内模补偿控制器设计原理 | 第28-29页 |
| 3.3.2 系统仿真 | 第29-34页 |
| 3.4 迭代学习控制原理 | 第34-35页 |
| 3.5 迭代学习补偿控制器设计 | 第35-41页 |
| 3.5.1 迭代学习控制策略选择 | 第35-36页 |
| 3.5.2 开环迭代学习补偿控制器设计 | 第36-39页 |
| 3.5.3 系统仿真 | 第39-41页 |
| 3.6 本章小结 | 第41-42页 |
| 第4章 扫描轨迹下的定位力分段迭代补偿策略 | 第42-51页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 扫描光刻系统轨迹规划 | 第42-46页 |
| 4.3 分段迭代学习控制 | 第46-50页 |
| 4.3.1 分段迭代学习控制器设计 | 第46-47页 |
| 4.3.2 系统仿真 | 第47-50页 |
| 4.4 本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 系统软硬件设计与实验 | 第51-65页 |
| 5.1 引言 | 第51页 |
| 5.2 运动控制板程序设计 | 第51-59页 |
| 5.2.1 运动控制卡硬件结构简述 | 第51-52页 |
| 5.2.2 运动控制卡程序设计 | 第52-59页 |
| 5.3 实验结果 | 第59-64页 |
| 5.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72页 |
