用于高功率微波管的碳纳米管场发射冷阴极研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 碳纳米管阴极的制备方法 | 第11-12页 |
| 1.3 碳纳米管阴极的国内外进展 | 第12-15页 |
| 1.4 本论文的结构安排 | 第15-16页 |
| 1.5 本章小结 | 第16-17页 |
| 第二章 碳纳米管场发射机理及仿真计算 | 第17-29页 |
| 2.1 碳纳米管的结构 | 第17-18页 |
| 2.1.1 碳纳米管的分子结构 | 第17-18页 |
| 2.1.2 碳纳米管的分类 | 第18页 |
| 2.2 碳纳米管的性质 | 第18-19页 |
| 2.2.1 碳纳米管的力学性能 | 第18页 |
| 2.2.2 碳纳米管的热学性能 | 第18-19页 |
| 2.2.3 碳纳米管的导电性能 | 第19页 |
| 2.3 碳纳米管的场发射 | 第19-28页 |
| 2.3.1 场发射的理论 | 第19-23页 |
| 2.3.2 场发射的增强效应 | 第23-24页 |
| 2.3.3 碳纳米管场发射的计算和仿真 | 第24-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 碳纳米管冷阴极的制备 | 第29-40页 |
| 3.1 等离子体化学气相沉积法 | 第29-30页 |
| 3.2 碳纳米管冷阴极制备工艺 | 第30-34页 |
| 3.2.1 准备基底材料 | 第31页 |
| 3.2.2 光刻 | 第31-33页 |
| 3.2.3 溅射催化剂层 | 第33-34页 |
| 3.3 PECVD法生长碳纳米管 | 第34-36页 |
| 3.4 湿法纺丝制备碳纳米管冷阴极 | 第36-39页 |
| 3.4.1 湿法纺丝原理 | 第37-38页 |
| 3.4.2 湿法纺丝工艺 | 第38-39页 |
| 3.5 本章小结 | 第39-40页 |
| 第四章 碳纳米管冷阴极场发射测试 | 第40-51页 |
| 4.1 场发射测试系统 | 第40-41页 |
| 4.2 PECVD法制备碳纳米管阴极场发射测试 | 第41-46页 |
| 4.2.1 碳纳米管样品的微观表征 | 第41-42页 |
| 4.2.2 不同生长时间的碳纳米管样品场发射测试 | 第42-44页 |
| 4.2.3 不同温度下的碳纳米管样品 | 第44-45页 |
| 4.2.4 在硅片基底上生长碳纳米管的场发射测试 | 第45-46页 |
| 4.3 在钼基底上制备碳纳米管阴极 | 第46-48页 |
| 4.4 碳纳米管纤维场发射测试 | 第48-50页 |
| 4.5 本章小结 | 第50-51页 |
| 第五章 碳纳米管冷阴极电子枪组件的仿真及加工测试 | 第51-57页 |
| 5.1 行波管电子枪理论 | 第51-52页 |
| 5.2 碳纳米管冷阴极电子枪组件的仿真 | 第52-55页 |
| 5.3 碳纳米管冷阴极组件的加工与测试 | 第55-56页 |
| 5.4 本章小结 | 第56-57页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第57-59页 |
| 6.1 本文的主要贡献 | 第57-58页 |
| 6.2 后续工作展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 攻硕期间的研究成果 | 第63-64页 |
