基于3ω法体块和薄膜材料热物性的研究
| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 课题研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.1.2 研究的意义 | 第10-11页 |
| 1.2 微尺度热学研究简介 | 第11页 |
| 1.3 薄膜热物性研究的实验方法 | 第11-18页 |
| 1.3.1 闪光法 | 第12-13页 |
| 1.3.2 交流量热法 | 第13页 |
| 1.3.3 微桥法 | 第13-14页 |
| 1.3.4 光热反射法 | 第14-15页 |
| 1.3.5 类稳态双桥法 | 第15-16页 |
| 1.3.6 稳态双桥法 | 第16页 |
| 1.3.7 调制激光光热反射法 | 第16-17页 |
| 1.3.8 3~ω法 | 第17-18页 |
| 1.4 3~ω法测试材料热物性研究的意义和现状 | 第18-20页 |
| 1.5 论文的研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 3~ω法的基本原理和实验系统的组建 | 第21-44页 |
| 2.1 3~ω法的测试原理 | 第21-30页 |
| 2.1.1 3~ω法的基本原理 | 第21页 |
| 2.1.2 经典3~ω方法测量体块材料热导率 | 第21-26页 |
| 2.1.3 3~ω法测量薄膜热导率 | 第26-30页 |
| 2.2 微加热器/传感器的设计与制备 | 第30-33页 |
| 2.2.1 微加热器/传感器的设计 | 第30-31页 |
| 2.2.2 微加热器/传感器材料的选择 | 第31页 |
| 2.2.3 微加热器/传感器的制备 | 第31-33页 |
| 2.3 测试系统组建 | 第33-43页 |
| 2.3.1 测试系统简介 | 第33-34页 |
| 2.3.2 测试系统框图 | 第34-36页 |
| 2.3.3 低温光学恒温器和锁相放大器 | 第36-43页 |
| 2.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 基于3~ω法体态硅及氧化硅薄膜热物性测试 | 第44-54页 |
| 3.1 测试原理 | 第44-45页 |
| 3.2 测试过程 | 第45-48页 |
| 3.2.1 测试样品的制备及其几何参数 | 第45页 |
| 3.2.2 实验测量与数据分析 | 第45-48页 |
| 3.3 测试结果 | 第48-53页 |
| 3.3.1 体态硅样品的测量结果 | 第48-49页 |
| 3.3.2 氧化硅薄膜样品的测量结果 | 第49-53页 |
| 3.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 第四章 熔融石英片的热导率测量 | 第54-59页 |
| 4.1 样品简介 | 第54-55页 |
| 4.1.1 熔融石英的基本概念 | 第54页 |
| 4.1.2 熔融石英的应用 | 第54-55页 |
| 4.2 测试过程 | 第55页 |
| 4.3 实验测量与数据分析 | 第55-57页 |
| 4.4 实验结果分析 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 结论与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 本文研究结论 | 第59页 |
| 5.2 展望 | 第59-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
