| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第7页 |
| 1.2 能量收集技术 | 第7-12页 |
| 1.2.1 五种常见能量收集技术 | 第7-10页 |
| 1.2.2 振动能量收集器 | 第10-12页 |
| 1.3 压电振动能量收集器的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.4 本文的研究目的与研究内容 | 第16-17页 |
| 2 两端固支梁压电振动能量收集器的理论基础 | 第17-29页 |
| 2.1 压电材料和工作模式的选择 | 第17-18页 |
| 2.2 结构设计和工作原理 | 第18-21页 |
| 2.3 两端固支梁结构的受力变形和振动特性分析 | 第21-28页 |
| 2.3.1 受力变形分析 | 第21-22页 |
| 2.3.2 频率和应力的优化设计 | 第22-25页 |
| 2.3.3 线性和非线性受迫振动 | 第25-28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 3 两端固支梁压电式振动能量收集器的仿真与制作 | 第29-44页 |
| 3.1 优化设计与建模仿真 | 第29-34页 |
| 3.1.1 悬臂梁和两端固支梁结构的建模仿真 | 第30-32页 |
| 3.1.2 两端固支梁压电振动能量收集器的模态仿真 | 第32-34页 |
| 3.2 器件的制作工艺流程研究 | 第34-37页 |
| 3.2.1 制作工艺流程设计 | 第34-35页 |
| 3.2.2 掩膜版的设计 | 第35-37页 |
| 3.3 关键制作工艺研究 | 第37-43页 |
| 3.3.1 PZT压电薄膜的制备与腐蚀 | 第37-41页 |
| 3.3.2 固定安装和引线 | 第41-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 4 两端固支梁压电振动能量收集器的性能测试 | 第44-58页 |
| 4.1 PZT薄膜性能测试分析 | 第44-49页 |
| 4.2 两端固支梁结构的静态和动态性能测试 | 第49-53页 |
| 4.2.1 两端固支梁结构的静态性能测试 | 第49-51页 |
| 4.2.2 两端固支梁结构的动态性能测试 | 第51-53页 |
| 4.3 输出性能测试 | 第53-56页 |
| 4.3.1 测试系统的搭建和加速度标定 | 第53-54页 |
| 4.3.2 能量收集器的开路输出测试 | 第54-55页 |
| 4.3.3 能量收集器的闭环输出测试 | 第55-56页 |
| 4.4 本章小结 | 第56-58页 |
| 结论 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |