| 摘要 | 第4-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪言 | 第15-23页 |
| 1.1 微机电系统(MEMS)的研究进展 | 第15-17页 |
| 1.2 射频微机电系统(RF MEMS)的概况 | 第17-20页 |
| 1.3 MEMS 天线 | 第20-21页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第21-22页 |
| 1.4.1 适用于毫米波系统的非硅基三维微加工技术研究 | 第21页 |
| 1.4.2 薄膜缝隙或贴片天线整体设计 | 第21-22页 |
| 1.4.3 天线增益特性、带宽特性的仿真优化 | 第22页 |
| 1.5 本章小结 | 第22-23页 |
| 第二章 MEMS 微加工工艺 | 第23-36页 |
| 2.1 体微加工技术 | 第23-26页 |
| 2.1.1 刻蚀 | 第23-25页 |
| 2.1.2 薄膜生长技术 | 第25页 |
| 2.1.3 掺杂 | 第25页 |
| 2.1.4 键合技术 | 第25-26页 |
| 2.2 表面微机械加工工艺 | 第26-27页 |
| 2.3 LIGA 工艺 | 第27-28页 |
| 2.4 光刻工艺 | 第28-29页 |
| 2.5 其它加工工艺 | 第29-30页 |
| 2.5.1 微细电火花加工 | 第29页 |
| 2.5.2 蒸镀 | 第29页 |
| 2.5.3 化学气象淀积（CVD） | 第29-30页 |
| 2.6 面向毫米波天线辐射元加工需求的三维非硅微加工技术 | 第30-36页 |
| 2.6.1 加法工艺和减法工艺 | 第30-32页 |
| 2.6.2 通用性图形化微加工工艺 | 第32-34页 |
| 2.6.3 大悬空高度牺牲层技术 | 第34-35页 |
| 2.6.4 工艺选择小结 | 第35-36页 |
| 第三章 平面型天线的基本理论 | 第36-56页 |
| 3.1 天线基本概念 | 第36-40页 |
| 3.2 天线基本辐射原理 | 第40-44页 |
| 3.2.1 振荡偶极子辐射机理分析 | 第40-42页 |
| 3.2.2 无穷小偶极子的辐射场计算 | 第42-44页 |
| 3.3 平面型天线的基本原理 | 第44-52页 |
| 3.3.1 微带(贴片)天线的基本概念 | 第44-46页 |
| 3.3.2 微带(贴片)天线的辐射原理 | 第46-47页 |
| 3.3.3 微带天线分析方法 | 第47-52页 |
| 3.4 微带天线的馈电方法 | 第52-55页 |
| 3.4.1 微带线共面馈电 | 第52-53页 |
| 3.4.2 同轴馈电 | 第53页 |
| 3.4.3 临近耦合馈电 | 第53-54页 |
| 3.4.4 口径耦合馈电 | 第54页 |
| 3.4.5 共面波导馈电 | 第54页 |
| 3.4.6 不同馈电方式的比较 | 第54-55页 |
| 3.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 第四章 共面耦合式圆极化微带天线 | 第56-64页 |
| 4.1 天线设计 | 第57-61页 |
| 4.1.1 线极化天线结构 | 第57-60页 |
| 4.1.2 圆极化天线结构 | 第60-61页 |
| 4.2 仿真结果 | 第61-63页 |
| 4.3 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 单向宽带平面矩形缝隙天线 | 第64-73页 |
| 5.1 天线设计 | 第64-66页 |
| 5.2 仿真结果与分析 | 第66-71页 |
| 5.2.1 辐射单元结构 | 第66-67页 |
| 5.2.2 反射结构 | 第67-70页 |
| 5.2.3 波束引导结构 | 第70-71页 |
| 5.3 天线样品与微加工工艺流程 | 第71-72页 |
| 5.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第六章 具有多层结构的单向宽带圆极化平面MEMS 缝隙天线 | 第73-87页 |
| 6.1 天线设计 | 第73-76页 |
| 6.2 微加工工艺方法 | 第76-77页 |
| 6.3 天线原理分析 | 第77-83页 |
| 6.3.1 新型短路微扰法实现平面圆环形缝隙天线的单馈圆极化 | 第77-80页 |
| 6.3.2 利用截止波导缝隙结构实现电磁波的反射 | 第80-83页 |
| 6.4 仿真与测试结果 | 第83-86页 |
| 6.4.1 天线的反射损耗与轴比的仿真与实测结果 | 第83-84页 |
| 6.4.2 天线增益与方向图的仿真与实测结果 | 第84-86页 |
| 6.5 本章小结 | 第86-87页 |
| 第七章 四元圆极化阵列设计 | 第87-94页 |
| 7.1 1×4 四元阵列 | 第87-91页 |
| 7.1.1 1×4 四元阵列结构 | 第87-88页 |
| 7.1.2 1×4 四元阵列带宽与圆极化结果 | 第88-89页 |
| 7.1.3 1×4 四元阵列辐射增益与方向性 | 第89-90页 |
| 7.1.4 单向1×4 四元阵列 | 第90-91页 |
| 7.2 2×2 四元阵列 | 第91-93页 |
| 7.3 本章小结 | 第93-94页 |
| 第八章 展望与总结 | 第94-96页 |
| 8.1 总结 | 第94-95页 |
| 8.2 展望 | 第95-96页 |
| 致谢 | 第96-97页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第97页 |
| 攻读学位期间申请的专利目录 | 第97-98页 |
| 参考文献 | 第98-100页 |
