| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题的研究背景及意义 | 第8页 |
| 1.2 微机械陀螺仪发展概述 | 第8-12页 |
| 1.3 微机械陀螺仪误差消除国内外研究现状 | 第12-14页 |
| 1.4 本论文主要研究内容 | 第14-16页 |
| 第2章 微机械陀螺仪工作原理 | 第16-28页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 哥氏效应 | 第16-18页 |
| 2.3 两种结构微机械陀螺分析 | 第18-19页 |
| 2.4 微机械陀螺仪驱动原理 | 第19-22页 |
| 2.4.1 驱动活动梳齿运动方式分析 | 第19-21页 |
| 2.4.2 驱动方向动力学方程 | 第21-22页 |
| 2.5 微机械陀螺电容检测工作原理 | 第22-25页 |
| 2.5.1 检测活动梳齿运动方式分析 | 第22-23页 |
| 2.5.2 检测方向动力学方程 | 第23-25页 |
| 2.6 静电驱动电容式微机械陀螺的非理想效应 | 第25-27页 |
| 2.6.1 正交误差 | 第25-26页 |
| 2.6.2 同相误差 | 第26-27页 |
| 2.7 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 两种结构微机械陀螺的ANSYS有限元分析 | 第28-42页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 ANSYS软件概述 | 第28-29页 |
| 3.2.1 ANSYS简介 | 第28页 |
| 3.2.2 ANSYS的分析过程 | 第28-29页 |
| 3.2.3 ANSYS的操作界面 | 第29页 |
| 3.3 ANSYS建模分析的主要流程 | 第29-30页 |
| 3.4 微机械陀螺的实体建模 | 第30-33页 |
| 3.4.1 双质量块结构微机械陀螺模型 | 第30-32页 |
| 3.4.2 全对称结构微机械陀螺模型 | 第32-33页 |
| 3.5 微机械陀螺模型的模态仿真 | 第33-40页 |
| 3.5.1 ANSYS模态仿真流程 | 第33-35页 |
| 3.5.2 双质量块结构微机械陀螺模态仿真 | 第35-37页 |
| 3.5.3 全对称结构微机械陀螺模态仿真 | 第37-39页 |
| 3.5.4 仿真结果对比分析 | 第39-40页 |
| 3.6 本章小结 | 第40-42页 |
| 第4章 微机械陀螺传感器结构的simulink模型及仿真 | 第42-56页 |
| 4.1 引言 | 第42页 |
| 4.2 微机械陀螺仪理想情况下的simulink模型 | 第42-43页 |
| 4.3 存在非理想效应的微机械陀螺传感器结构受力分析 | 第43-48页 |
| 4.3.1 正交误差特性分析 | 第43-47页 |
| 4.3.2 同相误差特性分析 | 第47-48页 |
| 4.4 包含非理想效应的Simulink模型 | 第48-52页 |
| 4.4.1 包含正交误差的simulink模型 | 第48-50页 |
| 4.4.2 包含同相误差的simulink模型 | 第50-51页 |
| 4.4.3 完整的simulink模型 | 第51-52页 |
| 4.5 simulink模拟仿真 | 第52-54页 |
| 4.5.1 理想情况Simulink模型仿真 | 第52-53页 |
| 4.5.2 包含非理想情况Simulink模型仿真 | 第53-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 微机械陀螺仪的误差消除 | 第56-66页 |
| 5.1 引言 | 第56页 |
| 5.2 微机械陀螺仪角速度提取原理 | 第56-57页 |
| 5.3 微机械陀螺仪误差消除方案 | 第57-60页 |
| 5.3.1 微机械陀螺仪正交误差消除方案 | 第58-60页 |
| 5.3.2 微机械陀螺仪同相误差消除方案 | 第60页 |
| 5.4 微机械陀螺仪误差消除方案仿真 | 第60-64页 |
| 5.5 本章小结 | 第64-66页 |
| 第6章 课题总结与展望 | 第66-68页 |
| 参考文献 | 第68-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 个人简历、在学校期间发表的学士论文与研究成果 | 第74页 |
