| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 MoS_2薄膜概述 | 第10-16页 |
| 1.1.1 MoS_2薄膜的结构、性能及应用 | 第10-11页 |
| 1.1.2 MoS_2薄膜的固体润滑机理 | 第11-12页 |
| 1.1.3 MoS_2薄膜的研究现状 | 第12-16页 |
| 1.2 非晶碳膜概述 | 第16-20页 |
| 1.2.1 非晶碳膜 | 第16页 |
| 1.2.2 非晶碳膜的结构、性能及应用 | 第16-18页 |
| 1.2.3 非晶碳膜的固体润滑机理 | 第18-19页 |
| 1.2.4 非晶碳膜的研究现状 | 第19-20页 |
| 1.3 高功率脉冲磁控溅射技术 | 第20-22页 |
| 1.4 本课题的研究内容与目标 | 第22-24页 |
| 2 MOS_2-C复合薄膜的制备与表征 | 第24-29页 |
| 2.1 MoS_2-C复合薄膜制备方法 | 第24-26页 |
| 2.2 MoS_2-C复合薄膜沉积工艺 | 第26-27页 |
| 2.3 MoS_2-C复合薄膜表征方法 | 第27-29页 |
| 2.3.1 结构及成分表征 | 第27页 |
| 2.3.2 性能表征 | 第27页 |
| 2.3.3 摩擦学性能表征 | 第27-29页 |
| 3 MOS_2-C复合薄膜的制备及结构性能分析 | 第29-50页 |
| 3.1 MoS_2-C复合薄膜制备 | 第29-30页 |
| 3.2 碳掺杂对MoS_2-C复合薄膜成分及结构的影响 | 第30-38页 |
| 3.2.1 碳含量与MoS_2-C复合薄膜沉积速率之间的关系 | 第30页 |
| 3.2.2 碳含量与MoS_2-C复合薄膜断面形貌的关系 | 第30-31页 |
| 3.2.3 MoS_2贴片量对MoS_2-C薄膜成分的影响 | 第31-32页 |
| 3.2.4 掺碳对MoS_2-C薄膜内化学键态的影响 | 第32-36页 |
| 3.2.5 掺碳对MoS_2-C薄膜微观结构的影响 | 第36-38页 |
| 3.3 碳掺杂对MoS_2-C复合薄膜力学性能的影响 | 第38-41页 |
| 3.4 复合HIPIMS技术制备Ti过渡层对MoS_2-C复合薄膜结合力的影响 | 第41-47页 |
| 3.4.1 样品制备 | 第42-43页 |
| 3.4.2 复合HIPIMS技术对过渡层结构的影响 | 第43-44页 |
| 3.4.3 复合HIPIMS技术对MoS_2-C复合薄膜膜基结合力的影响 | 第44-47页 |
| 3.5 碳掺杂对MoS_2-C复合薄膜摩擦学性能的影响 | 第47-49页 |
| 3.6 本章小结 | 第49-50页 |
| 4 MoS_2-C复合薄膜摩擦学性能研究 | 第50-69页 |
| 4.1 环境湿度对MoS_2-C复合薄膜摩擦学性能的影响 | 第50-53页 |
| 4.2 真空、氮气及大气气氛下MoS_2-C复合润滑薄膜的摩擦学性能 | 第53-56页 |
| 4.3 水、油等环境下MoS_2-C复合润滑薄膜的摩擦学性能 | 第56-58页 |
| 4.4 温度对MoS_2-C复合薄膜摩擦学性能的影响 | 第58-60页 |
| 4.5 载荷对MoS_2-C复合薄膜摩擦学性能的影响 | 第60-62页 |
| 4.6 MoS_2-C摩擦润滑的耐久性及稳定性 | 第62-65页 |
| 4.7 MoS_2-C复合润滑薄膜的摩擦润滑机理研究 | 第65-68页 |
| 4.8 本章小结 | 第68-69页 |
| 5 结论与展望 | 第69-71页 |
| 5.1 结论 | 第69-70页 |
| 5.2 展望 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 附录 | 第78页 |
