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钛合金TC18的“电解—约束刻蚀”复合电化学加工研究

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
第1章 绪论第8-26页
    1.1 发展钛及其合金加工技术的意义第8-9页
    1.2 钛合金的加工方法概述第9-11页
        1.2.1 机械加工第9-10页
        1.2.2 特种加工第10-11页
    1.3 电解加工技术概述第11-12页
    1.4 复合电解加工技术概述第12-16页
        1.4.1 电化学机械光整加工第13-14页
        1.4.2 电解辅助在线削锐磨削第14页
        1.4.3 超声电解复合加工第14-15页
        1.4.4 电解电火花复合加工第15-16页
    1.5 电化学微细加工技术概述第16-24页
        1.5.1 扫描电化学显微镜(SECM)技术第16页
        1.5.2 扫描探针显微镜(SPM)技术第16-17页
        1.5.3 EFAB技术第17-19页
        1.5.4 3D电化学加工第19-20页
        1.5.5 LIGA技术第20-21页
        1.5.6 电化学湿印章技术(E-WETS)第21-22页
        1.5.7 约束刻蚀剂层技术(CELT)第22-24页
    1.6 研究的内容第24-26页
第2章 实验方法第26-34页
    2.1 实验药品及材料第26-27页
        2.1.1 实验所需的化学试剂第26页
        2.1.2 实验研究材料及其预处理工艺第26-27页
        2.1.3 实验所需其他材料与仪器第27页
    2.2 实验研究的电极制作第27-29页
        2.2.1 Pt半球工具电极的制备第28页
        2.2.2 被加工件的制备第28-29页
    2.3 加工系统第29-30页
    2.4 加工电源及参数第30-31页
    2.5 电解液供给与电解产物排出的方式及设备第31-32页
    2.6 电解—约束刻蚀复合方式的设计第32-33页
    2.7 电解—约束刻蚀复合加工的操作流程第33-34页
第3章 钛合金TC18约束刻蚀体系的研究第34-40页
    3.1 钛合金TC18约束刻蚀体系的选择第34页
    3.2 钛合金TC18约束刻蚀体系的电化学研究第34-39页
        3.2.1 塔菲尔极化曲线分析第34-35页
        3.2.2 钛合金TC18在腐蚀体系中的失重实验第35-37页
        3.2.3 循环伏安曲线分析第37-39页
    3.3 本章小结第39-40页
第4章 钛合金TC18的电解—约束刻蚀复合加工研究第40-57页
    4.1 引言第40页
    4.2 电解—约束刻蚀加工复合电解液的筛选第40-56页
        4.2.1 单一电解液的加工实验第40-43页
        4.2.2 电解—约束刻蚀复合电解液体系的筛选第43-46页
        4.2.3 复合电解液的单因素实验第46-56页
        4.2.4 表面活性剂对复合加工的影响第56页
    4.3 复合电解液配方的确定第56-57页
第5章 不同电源波形下的电解—约束刻蚀复合加工的研究第57-67页
    5.1 引言第57页
    5.2 直流电源下单纯的电解加工实验第57-58页
    5.3 脉冲电源下单纯的电解加工实验第58-59页
    5.4 脉冲电源下电解—约束刻蚀复合加工实验第59-65页
        5.4.1 占空比对复合电解加工的影响第60-62页
        5.4.2 脉冲频率对复合电解加工的影响第62-63页
        5.4.3 脉冲电压对复合电解加工的影响第63-65页
    5.5 复合加工实验第65页
    5.6 本章小结第65-67页
第6章 结论与展望第67-69页
    6.1 结论第67-68页
    6.2 研究展望第68-69页
参考文献第69-73页
致谢第73-74页

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