摘要 | 第3-4页 |
Abstract | 第4-5页 |
第1章 绪论 | 第8-26页 |
1.1 发展钛及其合金加工技术的意义 | 第8-9页 |
1.2 钛合金的加工方法概述 | 第9-11页 |
1.2.1 机械加工 | 第9-10页 |
1.2.2 特种加工 | 第10-11页 |
1.3 电解加工技术概述 | 第11-12页 |
1.4 复合电解加工技术概述 | 第12-16页 |
1.4.1 电化学机械光整加工 | 第13-14页 |
1.4.2 电解辅助在线削锐磨削 | 第14页 |
1.4.3 超声电解复合加工 | 第14-15页 |
1.4.4 电解电火花复合加工 | 第15-16页 |
1.5 电化学微细加工技术概述 | 第16-24页 |
1.5.1 扫描电化学显微镜(SECM)技术 | 第16页 |
1.5.2 扫描探针显微镜(SPM)技术 | 第16-17页 |
1.5.3 EFAB技术 | 第17-19页 |
1.5.4 3D电化学加工 | 第19-20页 |
1.5.5 LIGA技术 | 第20-21页 |
1.5.6 电化学湿印章技术(E-WETS) | 第21-22页 |
1.5.7 约束刻蚀剂层技术(CELT) | 第22-24页 |
1.6 研究的内容 | 第24-26页 |
第2章 实验方法 | 第26-34页 |
2.1 实验药品及材料 | 第26-27页 |
2.1.1 实验所需的化学试剂 | 第26页 |
2.1.2 实验研究材料及其预处理工艺 | 第26-27页 |
2.1.3 实验所需其他材料与仪器 | 第27页 |
2.2 实验研究的电极制作 | 第27-29页 |
2.2.1 Pt半球工具电极的制备 | 第28页 |
2.2.2 被加工件的制备 | 第28-29页 |
2.3 加工系统 | 第29-30页 |
2.4 加工电源及参数 | 第30-31页 |
2.5 电解液供给与电解产物排出的方式及设备 | 第31-32页 |
2.6 电解—约束刻蚀复合方式的设计 | 第32-33页 |
2.7 电解—约束刻蚀复合加工的操作流程 | 第33-34页 |
第3章 钛合金TC18约束刻蚀体系的研究 | 第34-40页 |
3.1 钛合金TC18约束刻蚀体系的选择 | 第34页 |
3.2 钛合金TC18约束刻蚀体系的电化学研究 | 第34-39页 |
3.2.1 塔菲尔极化曲线分析 | 第34-35页 |
3.2.2 钛合金TC18在腐蚀体系中的失重实验 | 第35-37页 |
3.2.3 循环伏安曲线分析 | 第37-39页 |
3.3 本章小结 | 第39-40页 |
第4章 钛合金TC18的电解—约束刻蚀复合加工研究 | 第40-57页 |
4.1 引言 | 第40页 |
4.2 电解—约束刻蚀加工复合电解液的筛选 | 第40-56页 |
4.2.1 单一电解液的加工实验 | 第40-43页 |
4.2.2 电解—约束刻蚀复合电解液体系的筛选 | 第43-46页 |
4.2.3 复合电解液的单因素实验 | 第46-56页 |
4.2.4 表面活性剂对复合加工的影响 | 第56页 |
4.3 复合电解液配方的确定 | 第56-57页 |
第5章 不同电源波形下的电解—约束刻蚀复合加工的研究 | 第57-67页 |
5.1 引言 | 第57页 |
5.2 直流电源下单纯的电解加工实验 | 第57-58页 |
5.3 脉冲电源下单纯的电解加工实验 | 第58-59页 |
5.4 脉冲电源下电解—约束刻蚀复合加工实验 | 第59-65页 |
5.4.1 占空比对复合电解加工的影响 | 第60-62页 |
5.4.2 脉冲频率对复合电解加工的影响 | 第62-63页 |
5.4.3 脉冲电压对复合电解加工的影响 | 第63-65页 |
5.5 复合加工实验 | 第65页 |
5.6 本章小结 | 第65-67页 |
第6章 结论与展望 | 第67-69页 |
6.1 结论 | 第67-68页 |
6.2 研究展望 | 第68-69页 |
参考文献 | 第69-73页 |
致谢 | 第73-74页 |