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工作在250-2000nm波段的过渡金属/介质光热转换薄膜的设计与制备

摘要第4-5页
abstract第5页
第一章 绪论第8-13页
    1.1 研究背景第8-12页
        1.1.1 研究的应用第8-9页
        1.1.2 国内外研究进展第9-12页
    1.2 本文主要研究内容第12-13页
第二章 过渡金属/介质光热转换薄膜结构的理论设计第13-30页
    2.1 研究的理论背景第13-15页
    2.2 传输矩阵方法第15-18页
        2.2.1 麦克斯韦方法第16-17页
        2.2.2 亚伯拉罕方法第17-18页
    2.3 过渡金属/介质光热转换薄膜结构的选取第18-23页
    2.4 厚度对薄膜结构光学性能的影响第23-27页
        2.4.1 介质层厚度对薄膜结构光学性质的影响第23-25页
        2.4.2 金属吸收层厚度对薄膜结构光学性质的影响第25-26页
        2.4.3 反射层厚度对过渡金属/介质光热转换薄膜结构光学性质的影响第26-27页
        2.4.4 总结第27页
    2.5 理论计算结果第27-29页
    2.6 本章小结第29-30页
第三章 过渡金属/介质光热转换薄膜结构的制备及表征设备第30-34页
    3.1 实验设备及材料第30-32页
        3.1.1 过渡金属/介质光热转换薄膜制备设备第30-31页
        3.1.2 退火设备第31页
        3.1.3 实验材料第31-32页
    3.2 过渡金属/介质光热转换薄膜的性能表征设备第32-34页
        3.2.1 椭圆偏振光谱仪(SE)第32页
        3.2.2 原子力显微镜(AFM)第32-33页
        3.2.3 X射线光电子能谱技术(XPS)第33-34页
第四章 过渡金属/电介质光热转换薄膜的制备及表征第34-49页
    4.1 薄膜形成过程及溅射镀膜原理第34-37页
        4.1.1 薄膜的形成过程第34-35页
        4.1.2 溅射镀膜原理第35-37页
    4.2 基片清洗第37页
    4.3 过渡金属/介质光热转换薄膜的制备第37-38页
    4.4 实验参数定标第38-41页
    4.5 实验参数列表第41-42页
    4.6 退火实验流程第42-43页
    4.7 过渡金属/介质光热转换薄膜结构性能分析第43-47页
        4.7.1 光学吸收率第44页
        4.7.2 热辐射率第44-45页
        4.7.3 变角度反射光谱第45-46页
        4.7.4 热稳定性第46-47页
        4.7.5 表面形貌第47页
    4.8 本章小结第47-49页
第五章 过渡金属/介质多层膜结构的改进第49-59页
    5.1 理论分析第49-52页
        5.1.1 常用的光学色散模型第49-51页
        5.1.2 有效介质近似第51-52页
    5.2 混合膜的制备及表征第52-56页
        5.2.1 实验计划第52-53页
        5.2.2 结果分析第53-56页
    5.3 混合膜结构的性能第56-58页
    5.4 本章小结第58-59页
第六章 总结与展望第59-60页
参考文献第60-63页
附录1 攻读硕士学位期间撰写的论文第63-64页
附录2 攻读硕士学位期间参加的科研项目第64-65页
附录3 攻读硕士学位期间申请的专利第65-66页
致谢第66页

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