摘要 | 第5-7页 |
Abstract | 第7-8页 |
第一章 绪论 | 第13-39页 |
1.1 陶瓷烧成过程 | 第13-15页 |
1.2 烧结理论 | 第15-19页 |
1.2.1 固相烧结 | 第15-18页 |
1.2.2 液相烧结 | 第18-19页 |
1.3 烧成方法对材料性能的影响 | 第19-24页 |
1.3.1 烧结致密化的影响因素 | 第19-20页 |
1.3.2 不同烧成方法的特点与影响 | 第20-24页 |
1.4 AlN陶瓷的制备工艺 | 第24-30页 |
1.4.1 AlN的结构性能及应用领域 | 第24-25页 |
1.4.2 AlN配方及烧结工艺 | 第25-28页 |
1.4.3 AlN陶瓷热导性能的影响因素 | 第28-30页 |
1.5 YAG激光透明陶瓷 | 第30-36页 |
1.5.1 YAG结构与激光性能 | 第30-31页 |
1.5.2 YAG粉体及助烧结剂 | 第31-33页 |
1.5.3 YAG陶瓷的烧结 | 第33-34页 |
1.5.4 YAG激光透明陶瓷的应用 | 第34-36页 |
1.6 本课题研究的背景、意义及研究内容 | 第36-39页 |
1.6.1 研究背景 | 第36-37页 |
1.6.2 主要研究内容 | 第37页 |
1.6.3 创新点 | 第37-39页 |
第二章 实验原料、仪器设备与测试方法 | 第39-46页 |
2.1 实验原料 | 第39页 |
2.1.1 制备AlN所用原料 | 第39页 |
2.1.2 制备YAG所用原料 | 第39页 |
2.2 仪器与设备 | 第39-41页 |
2.3 实验方法 | 第41-42页 |
2.3.1 AlN陶瓷制备工艺 | 第41-42页 |
2.3.2 YAG陶瓷制备工艺 | 第42页 |
2.4 测试与表征 | 第42-46页 |
2.4.1 X射线衍射(XRD)分析 | 第42页 |
2.4.2 扫描电镜(SEM)和能谱(EDS)分析 | 第42-43页 |
2.4.3 差热(DTA)和热重(TG)分析 | 第43页 |
2.4.4 粒度分析 | 第43页 |
2.4.5 力学性能测量(抗弯强度测试) | 第43-44页 |
2.4.6 热导率测试 | 第44页 |
2.4.7 透光率测试 | 第44-45页 |
2.4.8 电子探针测试 | 第45-46页 |
第三章 振动辅助热压烧结方法 | 第46-52页 |
3.1 引言 | 第46页 |
3.2 振动辅助热压烧结的工作原理 | 第46-47页 |
3.3 振动辅助热压烧结设备 | 第47-50页 |
3.3.1 振动辅助热压烧结炉的构成 | 第47-49页 |
3.3.2 振动辅助热压烧结炉的控制系统 | 第49-50页 |
3.3.3 振动热压烧结炉主要尺寸、性能参数 | 第50页 |
3.4 技术参数 | 第50-51页 |
3.4.1 烧结性能 | 第50页 |
3.4.2 系统性能 | 第50页 |
3.4.3 电源需求 | 第50-51页 |
3.4.4 传感器性能 | 第51页 |
3.4.5 振动热压烧结炉的特点 | 第51页 |
3.5 本章小结 | 第51-52页 |
第四章 ALN陶瓷的振动辅助热压烧成 | 第52-85页 |
4.1. 引言 | 第52页 |
4.2 气氛炉无压烧结AlN陶瓷 | 第52-62页 |
4.2.1 实验部分 | 第52-53页 |
4.2.2 实验设计 | 第53页 |
4.2.3 结果与讨论 | 第53-62页 |
4.2.3.1 密度、抗弯强度与烧结性 | 第53-60页 |
4.2.3.2 热导率性能 | 第60页 |
4.2.3.3 AlN磨球 | 第60-62页 |
4.2.4 实验小结 | 第62页 |
4.3 热压烧结AlN陶瓷 | 第62-67页 |
4.3.1 实验部分 | 第62-63页 |
4.3.2 实验设计 | 第63页 |
4.3.3 结果与讨论 | 第63-66页 |
4.3.3.1 热压温度与压力实验 | 第63-64页 |
4.3.3.2 防渗碳实验 | 第64-66页 |
4.3.4 实验小结 | 第66-67页 |
4.4 振动辅助热压烧结(VHP)AlN陶瓷 | 第67-79页 |
4.4.1 实验部分 | 第67-68页 |
4.4.2 实验设计 | 第68-69页 |
4.4.3 结果与讨论 | 第69-79页 |
4.4.3.1 密度与显微结构 | 第69-71页 |
4.4.3.2 力学性能 | 第71-72页 |
4.4.3.3 振动热压密实机理分析 | 第72-76页 |
4.4.3.4 物相分析与热导率 | 第76-79页 |
4.4.4 本节小结 | 第79页 |
4.5 AlN陶瓷基片的应用 | 第79-83页 |
4.5.1 AlN陶瓷基片的散热性能测量 | 第80-82页 |
4.5.2 AlN陶瓷基片在高功率COB上的应用 | 第82-83页 |
4.5.3 本节小结 | 第83页 |
4.6 本章小结 | 第83-85页 |
第五章 YAG透明陶瓷的振动辅助热压烧成 | 第85-111页 |
5.1 引言 | 第85页 |
5.2 Nd:YAG纳米粉体制备 | 第85-92页 |
5.2.1 化学共沉淀法 | 第85-91页 |
5.2.2 固相法 | 第91-92页 |
5.2.3 本节小结 | 第92页 |
5.3 VHP工艺制备YAG激光透明陶瓷 | 第92-110页 |
5.3.1 影响透明陶瓷透光性的因素 | 第92-93页 |
5.3.2 高透光率YAG制备 | 第93-106页 |
5.3.2.1 渗碳的影响 | 第94-96页 |
5.3.2.2 无渗碳透明YAG的制备 | 第96-103页 |
5.3.2.3 YAG透明陶瓷退火的效果 | 第103-106页 |
5.3.3 VHP工艺制备完整YAG样品 | 第106-109页 |
5.3.4 本节小结 | 第109-110页 |
5.4 本章小结 | 第110-111页 |
结论 | 第111-113页 |
参考文献 | 第113-121页 |
攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第121-122页 |
致谢 | 第122-123页 |
附件 | 第123页 |