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n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的界面调控及生长工艺优化

摘要第3-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 绪论第13-31页
    1.1 引言第13页
    1.2 ZnO材料的基本性质第13-17页
        1.2.1 ZnO的晶体结构第13-15页
        1.2.2 ZnO的能带结构第15页
        1.2.3 ZnO的发光特性第15-16页
        1.2.4 ZnO的掺杂第16-17页
    1.3 GaN材料的基本性质第17-20页
        1.3.1 GaN的晶体结构第17-19页
        1.3.2 GaN的能带结构第19页
        1.3.3 GaN的物理化学性质第19-20页
        1.3.4 GaN的掺杂第20页
    1.4 ZnO和GaN半导体材料在器件中的应用第20-21页
        1.4.1 ZnO材料在发光器件中的应用第20-21页
        1.4.2 GaN材料在发光器件中的应用第21页
    1.5 n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构简介第21-27页
        1.5.1 PN结原理第21-22页
        1.5.2 ZnO纳米棒的性质和应用第22-25页
        1.5.3 n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的研究进展第25-27页
    1.6 选题思路以及主要工作第27-31页
第二章 样品的制备原理和表征方法第31-41页
    2.1 样品的制备原理第31-37页
        2.1.1 p-GaN的制备原理第31-33页
        2.1.2 GaN的湿法腐蚀第33-34页
        2.1.3 ZnO纳米棒的制备原理第34-37页
    2.2 表征方法第37-41页
        2.2.1 高分辨X射线衍射(HRXRD)第37-38页
        2.2.2 光致发光谱(PL)第38页
        2.2.3 原子力显微镜(AFM)第38-39页
        2.2.4 场发射扫描电子显微镜(FESEM)第39-41页
第三章n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的界面调控第41-49页
    3.1 引言第41页
    3.2 样品制备第41-43页
        3.2.1 p-GaN材料的制备第41-42页
        3.2.2 GaN的湿法腐蚀第42页
        3.2.3 ZnO纳米棒阵列的生长第42-43页
    3.3 结果与讨论第43-47页
        3.3.1 GaN的形貌表征第43页
        3.3.2 GaN的结构表征第43-44页
        3.3.3 ZnO纳米棒的形貌表征第44-46页
        3.3.4 ZnO纳米棒的结构表征第46页
        3.3.5 ZnO纳米棒的光学性能分析第46-47页
    3.4 本章小结第47-49页
第四章 界面调控后n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的生长演化机制及生长工艺优化第49-61页
    4.1 引言第49页
    4.2 界面调控后n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的生长演化第49-53页
        4.2.1 样品的制备第49-50页
        4.2.2 不同生长时间下的n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的表面形貌第50-51页
        4.2.3 不同生长时间下的n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的晶体质量第51-52页
        4.2.4 不同生长时间下的n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的光学性能第52-53页
    4.3 界面调控后n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的生长工艺优化第53-58页
        4.3.1 生长温度对n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的影响第53-56页
        4.3.2 生长浓度对n-ZnO纳米棒/p-GaN异质结构的影响第56-58页
    4.4 本章小结第58-61页
第五章 结论与展望第61-63页
    5.1 结论第61-62页
    5.2 展望第62-63页
致谢第63-65页
攻读硕士学位期间发表的论文第65-67页
参考文献第67-75页

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