| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第10-23页 |
| 1.1 靶材的概述 | 第10-12页 |
| 1.2 靶材的分类 | 第12-13页 |
| 1.3 TiO_2性质和结构 | 第13-15页 |
| 1.3.1 TiO_2的基本性质 | 第13页 |
| 1.3.2 TiO_2晶体结构 | 第13-14页 |
| 1.3.3 TiO_2的能带结构 | 第14-15页 |
| 1.4 TiO_2的性能 | 第15-16页 |
| 1.4.1 TiO_2的光催化性能 | 第15页 |
| 1.4.2 TiO_2的电学性能 | 第15-16页 |
| 1.5 Nb掺杂TiO_2陶瓷靶材的制备工艺 | 第16-20页 |
| 1.5.1 铸造法 | 第17页 |
| 1.5.2 粉末冶金法 | 第17页 |
| 1.5.3 成型方式 | 第17-18页 |
| 1.5.4 烧结方式 | 第18-20页 |
| 1.6 Nb掺杂TiO_2的研究现状 | 第20-22页 |
| 1.7 本论文的研究意义与创新点 | 第22-23页 |
| 1.7.1 研究意义 | 第22页 |
| 1.7.2 创新点 | 第22-23页 |
| 第2章 Nb_2O_5掺杂TiO_2陶瓷靶材的制备方法和性能表征 | 第23-32页 |
| 2.1 实验原料 | 第23-24页 |
| 2.2 工艺流程 | 第24-28页 |
| 2.2.1 配料 | 第24页 |
| 2.2.2 球磨 | 第24-25页 |
| 2.2.3 干燥和造粒 | 第25页 |
| 2.2.4 成型 | 第25-26页 |
| 2.2.5 脱胶 | 第26-27页 |
| 2.2.6 烧结 | 第27-28页 |
| 2.3 实验设备及作用 | 第28-29页 |
| 2.4 性能表征 | 第29-32页 |
| 2.4.1 力学性能测试 | 第29页 |
| 2.4.2 密度测试 | 第29-30页 |
| 2.4.3 收缩率 | 第30页 |
| 2.4.4 失重率 | 第30-31页 |
| 2.4.5 扫描电子显微镜（SEM）观察 | 第31页 |
| 2.4.6 X射线衍射 | 第31页 |
| 2.4.7 电阻率测试 | 第31页 |
| 2.4.8 DSC-TG示差扫描量热法 | 第31-32页 |
| 第3章 烧结温度对NTO靶材性能的影响 | 第32-46页 |
| 3.1 物相分析 | 第32-34页 |
| 3.2 烧结温度对靶材线收缩率的影响 | 第34-36页 |
| 3.3 烧结温度对靶材失重率的影响 | 第36-37页 |
| 3.4 烧结温度对靶材致密度的影响 | 第37-39页 |
| 3.5 烧结温度对靶材抗弯强度的影响 | 第39-40页 |
| 3.6 烧结温度对靶材电阻率的影响 | 第40-42页 |
| 3.7 烧结温度对微观结构的影响 | 第42-45页 |
| 3.8 本章小结 | 第45-46页 |
| 第4章 Nb_2O_5掺杂含量对NTO靶材性能的影响 | 第46-55页 |
| 4.1 物相分析 | 第46-47页 |
| 4.2 掺杂量对抗弯强度的影响 | 第47-49页 |
| 4.3 掺杂量对电阻率的影响 | 第49-50页 |
| 4.4 掺杂量对致密度的影响 | 第50-51页 |
| 4.5 靶材的微观结构 | 第51-54页 |
| 4.6 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 NTO薄膜的初步探索 | 第55-57页 |
| 5.1 NTO薄膜的制备 | 第55页 |
| 5.2 NTO薄膜的性能表征 | 第55-57页 |
| 第6章 结论 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 攻读硕士学位期间的研究成果 | 第63页 |