| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 微电子/光电子器件 | 第9页 |
| 1.1.2 航空航天工业领域 | 第9-10页 |
| 1.1.3 节能材料开发领域 | 第10-11页 |
| 1.2 研究发展现状 | 第11-16页 |
| 1.2.1 理论研究 | 第11-14页 |
| 1.2.2 实验测量方法研究 | 第14-15页 |
| 1.2.3 微纳米材料研究 | 第15-16页 |
| 1.3 本文研究目的和内容 | 第16-17页 |
| 第二章 测量原理和热输运模型 | 第17-54页 |
| 2.1 基本测量原理 | 第17-18页 |
| 2.2 激光加热金属薄膜的微时间尺度热输运模型 | 第18-44页 |
| 2.2.1 激光热源数学描述 | 第19-21页 |
| 2.2.2 抛物两步（PTS）热输运模型 | 第21-25页 |
| 2.2.3 双相滞（DPL）热输运模型 | 第25-44页 |
| 2.3 傅里叶热传导模型 | 第44-50页 |
| 2.4 敏感度分析 | 第50-54页 |
| 第三章 飞秒激光抽运探测热反射实验系统 | 第54-66页 |
| 3.1 设计路线 | 第54-56页 |
| 3.2 主要仪器和模块 | 第56-61页 |
| 3.2.1 飞秒脉冲Ti:Sapphire激光器 | 第56页 |
| 3.2.2 位移平台 | 第56页 |
| 3.2.3 电光调制器 | 第56-57页 |
| 3.2.4 锁相放大器 | 第57-59页 |
| 3.2.5 倍频模块 | 第59页 |
| 3.2.6 扩束模块 | 第59-60页 |
| 3.2.7 位移平台控制和数据采集系统 | 第60-61页 |
| 3.3 系统的调试 | 第61-66页 |
| 3.3.1 起偏器的分光比 | 第61页 |
| 3.3.2 探测光平行度调试 | 第61-63页 |
| 3.3.3 抽运光和探测光共线调试 | 第63-64页 |
| 3.3.4 样品表面聚焦位置的选取 | 第64-65页 |
| 3.3.5 系统调试的其他环节 | 第65-66页 |
| 第四章 纳米薄膜界面热导的测量 | 第66-76页 |
| 4.1 双层结构样品的界面热导测量 | 第66-69页 |
| 4.1.1 敏感度分析 | 第66-68页 |
| 4.1.2 测量结果 | 第68-69页 |
| 4.2 三层样品结构的界面热导测量 | 第69-76页 |
| 4.2.1 Al-HfO_2-Si | 第69-74页 |
| 4.2.2 Al-SiN-Si样品和Al-TiN-Si样品 | 第74-76页 |
| 第五章 结论 | 第76-78页 |
| 5.1 本文研究总结 | 第76页 |
| 5.2 创新点 | 第76-77页 |
| 5.3 展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-83页 |
| 致谢 | 第83页 |