| 中文摘要 | 第3-4页 |
| 英文摘要 | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 透明导电薄膜简介 | 第8-9页 |
| 1.2 金属氧化物透明导电薄膜的研究现状 | 第9-10页 |
| 1.3 氧化锌薄膜的基本性质及制备方法 | 第10-14页 |
| 1.3.1 氧化锌薄膜的基本性质 | 第10-11页 |
| 1.3.2 常见的氧化锌薄膜制备方法 | 第11-14页 |
| 1.4 影响氧化锌薄膜电学性质的因素 | 第14-16页 |
| 1.5 AZO存在的问题 | 第16-17页 |
| 1.6 本论文的研究目的 | 第17-18页 |
| 第二章 AZO和AFZO薄膜的制备及表征 | 第18-26页 |
| 2.1 靶材的制备 | 第18页 |
| 2.2 衬底的选择与清洗 | 第18页 |
| 2.3 样品的制备 | 第18-19页 |
| 2.4 样品的退火处理 | 第19-20页 |
| 2.4.1 真空退火处理 | 第20页 |
| 2.4.2 空气退火处理 | 第20页 |
| 2.5 薄膜的测试与表征 | 第20-26页 |
| 2.5.1 霍尔测试 | 第20-22页 |
| 2.5.2 XRD测试（X射线衍射） | 第22-23页 |
| 2.5.3 全波段吸收光谱测试 | 第23页 |
| 2.5.4 扫描电子显微镜测试（SEM） | 第23-25页 |
| 2.5.5 光致发光测试（PL） | 第25-26页 |
| 第三章 空气退火对AZO薄膜的影响 | 第26-30页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 空气退火对AZO薄膜的影响 | 第26-29页 |
| 3.2.1 空气退火对AZO薄膜晶体质量的影响 | 第26-27页 |
| 3.2.2 空气退火对AZO薄膜电学性质的影响 | 第27-28页 |
| 3.2.3 空气退火对AZO薄膜光学性质的影响 | 第28-29页 |
| 3.3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 真空和空气退火对AFZO薄膜的影响 | 第30-37页 |
| 4.1 引言 | 第30页 |
| 4.2 真空退火对AFZO薄膜的影响 | 第30-33页 |
| 4.2.1 真空退火对AFZO薄膜晶体质量的影响 | 第30-31页 |
| 4.2.2 真空退火对AFZO薄膜电学性质的影响 | 第31-32页 |
| 4.2.3 真空退火对AFZO薄膜光学性质的影响 | 第32-33页 |
| 4.3 空气退火对AFZO薄膜的影响 | 第33-36页 |
| 4.3.1 空气退火对AFZO薄膜晶体质量的影响 | 第33-34页 |
| 4.3.2 空气退火对AFZO薄膜电学性质的影响 | 第34-35页 |
| 4.3.3 空气退火对AFZO薄膜光学性质的影响 | 第35-36页 |
| 4.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第五章 AZO与AFZO电学性质差异产生机理的研究 | 第37-50页 |
| 5.1 引言 | 第37页 |
| 5.2 AZO薄膜与AFZO薄膜电学性质的对比研究 | 第37-40页 |
| 5.2.1 退火前AZO薄膜与AFZO薄膜电学性质的对比研究 | 第37-38页 |
| 5.2.2 600℃空气退火后AZO薄膜与AFZO薄膜电学性质的对比研究 | 第38-40页 |
| 5.3 AZO薄膜与AFZO薄膜电学性质差异产生的机理 | 第40-47页 |
| 5.3.1 真空退火处理 | 第40-42页 |
| 5.3.2 氮氢混合气体退火处理 | 第42-44页 |
| 5.3.3 锌气氛退火处理 | 第44-47页 |
| 5.4 空气退火对氟掺杂氧锌镁薄膜的影响 | 第47-49页 |
| 5.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第六章 结论与创新点 | 第50-52页 |
| 6.1 结论 | 第50页 |
| 6.2 本文的创新点 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文与专利 | 第60页 |
