| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-31页 |
| 1.1 微光学 | 第11-12页 |
| 1.2 二元光学 | 第12-14页 |
| 1.2.1 二元光学的特点 | 第12-13页 |
| 1.2.2 二元光学的发展 | 第13-14页 |
| 1.3 亚波长光栅 | 第14-16页 |
| 1.4 线栅偏振器及其研究进展 | 第16-24页 |
| 1.5 本文的研究目的和意义 | 第24-25页 |
| 1.6 本文的研究内容 | 第25-27页 |
| 参考文献 | 第27-31页 |
| 第二章 亚波长光栅的分析理论 | 第31-44页 |
| 2.1 光栅的分析理论概述 | 第31-33页 |
| 2.1.1 标量衍射理论 | 第31-32页 |
| 2.1.2 矢量衍射理论 | 第32-33页 |
| 2.2 严格耦合波法 | 第33-42页 |
| 2.2.1 单层亚波长光栅中的RCWA | 第34-40页 |
| 2.2.2 多层亚波长光栅中的RCWA | 第40-42页 |
| 2.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 参考文献 | 第43-44页 |
| 第三章 三明治结构线栅偏振器的理论设计 | 第44-60页 |
| 3.1 三明治结构线栅偏振器 | 第44-46页 |
| 3.2 三明治结构线栅偏振器的工作原理 | 第46-48页 |
| 3.3 三明治结构线栅偏振器的优化 | 第48-54页 |
| 3.3.1 材料对三明治结构线栅偏振器性能的影响 | 第48-50页 |
| 3.3.2 周期对三明治结构线栅偏振器性能的影响 | 第50-51页 |
| 3.3.3 占空比对三明治结构线栅偏振器性能的影响 | 第51-52页 |
| 3.3.4 线栅厚度对三明治结构线栅偏振器性能的影响 | 第52-53页 |
| 3.3.5 优化后的三明治结构线栅偏振器 | 第53-54页 |
| 3.4 入射角容忍度分析 | 第54-55页 |
| 3.5 加工误差容忍度分析 | 第55-56页 |
| 3.6 本章小结 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-60页 |
| 第四章 三明治结构线栅偏振器的实验设计 | 第60-69页 |
| 4.1 纳米压印技术 | 第60-63页 |
| 4.1.1 热压纳米压印技术 | 第60-62页 |
| 4.1.2 紫外光固化纳米压印技术 | 第62-63页 |
| 4.2 三明治结构线栅偏振器的工艺流程 | 第63-64页 |
| 4.3 三明治结构线栅偏振器的性能测试 | 第64-67页 |
| 4.4 本章小结 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-69页 |
| 第五章 总结 | 第69-71页 |
| 5.1 主要结论 | 第69-70页 |
| 5.2 创新点 | 第70页 |
| 5.3 研究展望 | 第70-71页 |
| 攻读硕士学位期间的学术成果 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |