| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4页 |
| 1 绪论 | 第7-12页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第7-8页 |
| 1.2 国内外研究历史及进展 | 第8-11页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第11-12页 |
| 2 激光激发超声的机理与检测原理 | 第12-16页 |
| 2.1 激光激发超声机理 | 第12-13页 |
| 2.2 激光超声检测方法 | 第13-16页 |
| 3 硅探测器结构中激光激发超声的有限元建模与分析 | 第16-38页 |
| 3.1 理论模型和算法 | 第16-19页 |
| 3.1.1 热传导理论 | 第16-17页 |
| 3.1.2 热耦合理论 | 第17-18页 |
| 3.1.3 激光超声的有限元形式 | 第18-19页 |
| 3.2 双层粘接结构的硅探测器中的超声模拟 | 第19-30页 |
| 3.2.1 双层理想粘接条件下的超声模拟 | 第19-26页 |
| 3.2.2 双层粘接缺陷条件下的超声模拟 | 第26-30页 |
| 3.3 三层粘接结构的硅探测器中的超声模拟 | 第30-37页 |
| 3.3.1 三层理想粘接条件下的超声模拟 | 第30-34页 |
| 3.3.2 三层粘接缺陷条件下的超声模拟 | 第34-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 光纤传感及用于超声检测的斐索干涉仪研究 | 第38-54页 |
| 4.1 光纤传感技术简介 | 第38页 |
| 4.2 光纤干涉式传感器介绍 | 第38-44页 |
| 4.2.1 迈克尔逊(Michelson)光纤干涉仪 | 第39-40页 |
| 4.2.2 马赫-泽德尔(Mach-Zehnder)光纤干涉仪 | 第40-41页 |
| 4.2.3 萨格纳克(Sagnac)光纤干涉仪 | 第41-42页 |
| 4.2.4 法布里-珀罗(Fabry-Perot)光纤干涉仪 | 第42-44页 |
| 4.3 光纤斐索式干涉仪 | 第44-53页 |
| 4.3.1 光纤斐索干涉仪结构及原理 | 第44-46页 |
| 4.3.2 斐索干涉仪输出波形模拟及功能特性分析 | 第46-53页 |
| 4.4 本章小结 | 第53-54页 |
| 5 硅探测器结构中激光激发超声的实验研究 | 第54-63页 |
| 5.1 光纤斐索干涉仪的制作 | 第54-56页 |
| 5.2 测量铝材声表面波形 | 第56-60页 |
| 5.3 测量硅探测器粘接结构中超声波形 | 第60-62页 |
| 5.4 本章小结 | 第62-63页 |
| 6 总结与展望 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-72页 |
| 附录 | 第72页 |
