| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-25页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·铁电体 | 第10-13页 |
| ·自发极化 | 第10-11页 |
| ·电滞回线 | 第11-12页 |
| ·铁电相变与居里温度 | 第12页 |
| ·铁电体的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·铁电材料的应用 | 第13-15页 |
| ·铁电材料BiFeO_3 | 第15-24页 |
| ·BiFeO_3 的晶体结构 | 第15-17页 |
| ·BiFeO_3 国内外研究现状 | 第17-19页 |
| ·BiFeO_3 研究的中存在的问题 | 第19-23页 |
| ·BiFeO_3 性能的改善 | 第23-24页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第24-25页 |
| 第2章 BiFeO_3铁电薄膜的制备和分析测试方法 | 第25-32页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第25-26页 |
| ·铁电薄膜的制备 | 第26-28页 |
| ·实验所需原料 | 第26页 |
| ·实验所需设备 | 第26-27页 |
| ·衬底材料的选择 | 第27页 |
| ·前驱体溶液的配置 | 第27-28页 |
| ·旋涂工艺 | 第28页 |
| ·薄膜退火处理 | 第28页 |
| ·顶电极的制备 | 第28-29页 |
| ·顶电极的沉积 | 第28-29页 |
| ·顶电极的退火 | 第29页 |
| ·薄膜的微观组织和结构分析方法 | 第29-30页 |
| ·X射线衍射分析 | 第29页 |
| ·原子力显微镜分析 | 第29-30页 |
| ·X射线光电子能谱分析 | 第30页 |
| ·薄膜的铁电性能分析测试方法 | 第30页 |
| ·实验过程 | 第30-32页 |
| 第3章 SrTiO_3种子层对BiFeO_3薄膜的微观组织影响 | 第32-53页 |
| ·SrTiO_3 种子层的制备和表征 | 第32-33页 |
| ·BiFeO_3 薄膜的相分析及织构演化 | 第33-38页 |
| ·BiFeO_3 薄膜的相分析 | 第34-36页 |
| ·SrTiO_3 种子层对BiFeO_3 薄膜织构的影响 | 第36-38页 |
| ·SrTiO_3 种子层对BiFeO_3 铁电薄膜的微观结构影响 | 第38-46页 |
| ·BiFeO_3 薄膜中元素化学结合能分析 | 第46-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 SrTiO_3种子层对BiFeO_3薄膜电学性能影响 | 第53-63页 |
| ·BiFeO_3 薄膜的漏电流分析 | 第53-59页 |
| ·BiFeO_3 薄膜的铁电性能分析 | 第59-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
