| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·p-n结型传统太阳能电池简介 | 第10-14页 |
| ·p-n结型太阳能电池的发展 | 第10-11页 |
| ·p-n结型太阳能电池的原理 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的分类 | 第12-14页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池 | 第14-20页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池的结构 | 第14-16页 |
| ·CIGS吸收层的性质 | 第16-18页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池的工作机制 | 第18页 |
| ·CIGS薄膜太阳能电池的制备方法 | 第18-20页 |
| ·本课题研究内容 | 第20-21页 |
| 第二章 单靶磁控溅射法制CIGS薄膜及表征技术 | 第21-28页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·实验原材料 | 第21页 |
| ·直流脉冲磁控溅射系统 | 第21-24页 |
| ·磁控溅射系统 | 第21-23页 |
| ·直流脉冲电源简介 | 第23页 |
| ·实验参数 | 第23-24页 |
| ·CIGS薄膜的制备过程 | 第24-25页 |
| ·CIGS薄膜样品表征 | 第25-27页 |
| ·薄膜厚度表征 | 第25页 |
| ·薄膜成分表征 | 第25-26页 |
| ·晶体结构表征 | 第26页 |
| ·表面形貌表征 | 第26-27页 |
| ·电学性能表征 | 第27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 电源参数对CIGS薄膜结构与性能的影响 | 第28-42页 |
| ·沉积功率对CIGS薄膜成分、择优取向及性能的影响 | 第28-33页 |
| ·沉积速率 | 第28-30页 |
| ·CIGS薄膜成分分析 | 第30-31页 |
| ·CIGS薄膜结构分析 | 第31-32页 |
| ·CIGS薄膜电学性能分析 | 第32-33页 |
| ·直流脉冲电源溅射频率对CIGS薄膜结构与成分的影响 | 第33-38页 |
| ·沉积速率 | 第34页 |
| ·CIGS薄膜XRD分析 | 第34-36页 |
| ·CIGS薄膜表面形貌分析 | 第36-37页 |
| ·CIGS薄膜成分分析 | 第37-38页 |
| ·电源参数对CIGS薄膜影响的讨论 | 第38-41页 |
| ·CIGS薄膜成分分析 | 第38-40页 |
| ·CIGS薄膜择优取向分析 | 第40-41页 |
| 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 基底温度对CIGS薄膜结构与性能的影响 | 第42-53页 |
| ·传统电阻丝加热方式对CIGS薄膜结构及成份的影响 | 第42-45页 |
| ·CIGS薄膜XRD分析 | 第42-43页 |
| ·CIGS薄膜表面形貌分析 | 第43-44页 |
| ·CIGS薄膜成分分析 | 第44-45页 |
| ·改进基底加热方式对CIGS薄膜结构及成份的影响 | 第45-52页 |
| ·CIGS薄膜成分分析 | 第45-47页 |
| ·CIGS薄膜XRD分析 | 第47-49页 |
| ·CIGS薄膜表面形貌分析 | 第49-52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 结论 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
