引信用MEMS微驱动器的设计与仿真分析
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| ·微机电系统（MEMS）概述 | 第11-17页 |
| ·微机电系统的基本特点 | 第12-13页 |
| ·微机电系统的加工材料和加工技术 | 第13-15页 |
| ·微机电系统的应用 | 第15-17页 |
| ·MEMS微驱动器研究现状 | 第17-23页 |
| ·静电微驱动器 | 第18-19页 |
| ·压电驱动器 | 第19-20页 |
| ·电磁驱动器 | 第20-21页 |
| ·电热驱动器 | 第21-23页 |
| ·论文研究的目的和意义 | 第23-24页 |
| ·论文研究的主要内容 | 第24-25页 |
| 第2章 MEMS电热驱动器的工作原理和耦合场分析 | 第25-41页 |
| ·双层膜工作原理 | 第25-29页 |
| ·电热驱动器的结构和工作原理 | 第29-30页 |
| ·材料的选择 | 第30-32页 |
| ·耦合场分析 | 第32-40页 |
| ·热物理场分析 | 第32-34页 |
| ·加速度场分析 | 第34-36页 |
| ·阻尼分析 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第3章 MEMS电热驱动器的结构设计 | 第41-54页 |
| ·驱动器模型的建立 | 第41-45页 |
| ·模型建立的工艺步骤 | 第41-42页 |
| ·驱动器的系统级模型 | 第42-43页 |
| ·模型的二维版图及FEM模型 | 第43-45页 |
| ·驱动器的工艺流程模拟 | 第45-47页 |
| ·尺寸变化对性能的影响 | 第47-51页 |
| ·尺寸设计 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 电热驱动器的仿真与分析 | 第54-75页 |
| ·CoventorWare仿真软件的介绍 | 第54-57页 |
| ·电热分析 | 第57-59页 |
| ·热传递分析 | 第59-63页 |
| ·热传导分析 | 第60-61页 |
| ·热对流分析 | 第61-63页 |
| ·阻尼分析 | 第63-65页 |
| ·模态分析 | 第65-67页 |
| ·抗过载分析 | 第67-68页 |
| ·机械—电—热耦合分析 | 第68-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-78页 |
| 研究工作总结 | 第75-76页 |
| 未来工作展望 | 第76-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
