| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景及意义 | 第9页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂的研究现状 | 第9-14页 |
| ·缓蚀剂简介 | 第9-10页 |
| ·缓蚀剂的缓蚀机理 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂的吸附机理 | 第10-11页 |
| ·缓蚀剂的屏蔽效应 | 第11页 |
| ·咪唑啉的概述 | 第11页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂的实验研究 | 第11-12页 |
| ·缓蚀剂的理论研究 | 第12-14页 |
| ·缓蚀剂的量子化学研究 | 第13页 |
| ·缓蚀剂的分子动力学模拟 | 第13-14页 |
| ·本文研究内容 | 第14-17页 |
| ·研究内容 | 第14-15页 |
| ·技术路线 | 第15-17页 |
| 第2章 理论方法和软件介绍 | 第17-23页 |
| ·量子化学方法 | 第17-20页 |
| ·从头算法 | 第17页 |
| ·密度泛函理论 | 第17-19页 |
| ·基组 | 第19-20页 |
| ·分子模拟方法 | 第20-21页 |
| ·分子力学方法 | 第20-21页 |
| ·分子动力学模拟 | 第21页 |
| ·模拟软件 | 第21-23页 |
| ·Gaussian 09W | 第21页 |
| ·Materials Studio | 第21-23页 |
| 第3章 咪唑啉缓蚀剂的反应活性 | 第23-44页 |
| ·量子化学参数 | 第23-25页 |
| ·前线分子轨道理论 | 第23页 |
| ·全局反应活性 | 第23-24页 |
| ·局部反应活性 | 第24-25页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂的反应活性 | 第25-42页 |
| ·计算方法选择 | 第25-26页 |
| ·烷基咪唑啉的反应活性 | 第26-29页 |
| ·前线轨道及全局活性 | 第26-28页 |
| ·反应活性位点分析 | 第28-29页 |
| ·芳基咪唑啉的反应活性 | 第29-34页 |
| ·前线轨道及全局活性 | 第29-32页 |
| ·反应活性位点分析 | 第32-34页 |
| ·硫脲乙基十一烷基型咪唑啉的反应活性 | 第34-42页 |
| ·前线轨道及全局活性 | 第34-38页 |
| ·反应活性位点分析 | 第38-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 咪唑啉缓蚀剂的构效关系 | 第44-51页 |
| ·评价有机缓蚀剂缓蚀性能的理论依据 | 第44-45页 |
| ·软硬酸碱理论 | 第44页 |
| ·分子内协同效应 | 第44-45页 |
| ·计算结果与讨论 | 第45-50页 |
| ·咪唑啉分子的量化参数与缓蚀效率的关系 | 第45-47页 |
| ·十一烷基硫脲乙基型咪唑啉构效关系模型 | 第47-48页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂分子结构的设计 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第5章 咪唑啉缓蚀剂在Fe(100)界面的吸附作用 | 第51-60页 |
| ·计算方法 | 第51-53页 |
| ·吸附界面的选取和构建 | 第51页 |
| ·分子力学 | 第51-52页 |
| ·分子动力学模拟 | 第52-53页 |
| ·结果与讨论 | 第53-59页 |
| ·咪唑啉缓蚀剂在金属界面的成膜 | 第53-55页 |
| ·缓蚀剂分子在金属界面的吸附 | 第55-56页 |
| ·平衡判据 | 第55-56页 |
| ·缓蚀剂分子在金属界面的吸附强度 | 第56页 |
| ·水溶液中缓蚀剂分子在金属界面的吸附 | 第56-59页 |
| ·缓蚀剂分子在金属界面的吸附方式 | 第56-57页 |
| ·水溶液中缓蚀剂分子在金属界面的吸附强度 | 第57-58页 |
| ·溶剂对缓蚀剂分子的影响 | 第58-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第6章 结论与建议 | 第60-62页 |
| ·结论 | 第60-61页 |
| ·建议 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-71页 |
| 附表 | 第71-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及参与科研项目情况 | 第76页 |