| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·宽带低损耗声表面波技术简介 | 第10-12页 |
| ·国内外发展历史及情况对比 | 第12-15页 |
| ·概述 | 第15-16页 |
| 第二章 宽带低损耗声表面波滤波器建模及分析 | 第16-38页 |
| ·物理模型建立 | 第16-20页 |
| ·声表面波滤波器的基本原理 | 第16-17页 |
| ·倾斜换能器实现宽带低损耗声表面波滤波器的基本原理 | 第17页 |
| ·声表面波物理模型 | 第17-20页 |
| ·COM 模型 | 第20-27页 |
| ·COM 模型的定义 | 第20-24页 |
| ·COM 模型参量的提取 | 第24-27页 |
| ·周期格林函数及分析方法 | 第27-33页 |
| ·声表面波器件的周期格林定义 | 第27-30页 |
| ·周期格林函数的数值处理 | 第30-31页 |
| ·周期栅格阵电荷分布计算 | 第31-32页 |
| ·周期栅格阵色散曲线计算 | 第32-33页 |
| ·FEM/BEM 分析方法 | 第33-38页 |
| 第三章 宽带低损耗声表面波滤波器的设计方法 | 第38-57页 |
| ·主要设计方法 | 第38-47页 |
| ·电容加权及分析 | 第38-40页 |
| ·SPUDT 结构 | 第40-44页 |
| ·扇形换能器孔径和距离优化 | 第44-45页 |
| ·拓扑加权 | 第45页 |
| ·宽带低损耗声表面波滤波器拓扑加权应用实例 | 第45-47页 |
| ·物理模型的建立 | 第47-49页 |
| ·仿真及制作结果分析 | 第49-57页 |
| 第四章 宽带低损耗声表面波滤波器的工艺技术研究 | 第57-68页 |
| ·主要工艺流程 | 第57页 |
| ·关键工艺的选择 | 第57-62页 |
| ·光刻工艺 | 第58-60页 |
| ·腐蚀工艺 | 第60-61页 |
| ·镀膜工艺 | 第61-62页 |
| ·解决的工艺问题 | 第62-66页 |
| ·开槽工艺的摸索 | 第62-64页 |
| ·力学试验可靠性研究 | 第64-66页 |
| ·工艺难点及分析 | 第66页 |
| ·可靠性分析 | 第66-68页 |
| 第五章 结论 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-76页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第76-78页 |