| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 绪论 | 第10-21页 |
| ·太阳电池原理及分类 | 第10-14页 |
| ·太阳电池基本原理 | 第10-11页 |
| ·太阳电池分类 | 第11-14页 |
| ·硅基薄膜太阳电池 | 第14-16页 |
| ·非晶硅薄膜太阳电池 | 第14-15页 |
| ·多晶硅薄膜太阳电池 | 第15-16页 |
| ·多晶硅薄膜的制备 | 第16-17页 |
| ·固相晶化 | 第17页 |
| ·激光晶化 | 第17页 |
| ·金属诱导晶化 | 第17页 |
| ·铝诱导晶化法原理 | 第17-20页 |
| ·铝诱导晶化法简介 | 第17-18页 |
| ·铝诱导晶化制备多晶硅薄膜交换机理 | 第18-19页 |
| ·铝诱导晶化法目前存在的问题 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究目标和内容 | 第20-21页 |
| 2 铝诱导晶化制备多晶硅薄膜 | 第21-27页 |
| ·实验过程 | 第21-25页 |
| ·样品制备过程 | 第21-23页 |
| ·薄膜结构及性能表征 | 第23-25页 |
| ·结果与讨论 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 3 快速热退火对铝诱导晶化制备多晶硅薄膜结晶过程影响 | 第27-35页 |
| ·实验过程 | 第27-30页 |
| ·样品制备过程 | 第27-28页 |
| ·薄膜结构及性能表征 | 第28-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 4 非晶硅薄膜中 H 含量对铝诱导晶化制备多晶硅薄膜结晶的影响 | 第35-42页 |
| ·实验过程 | 第35-36页 |
| ·样品制备过程 | 第35页 |
| ·薄膜结构及性能表征 | 第35-36页 |
| ·结果与讨论 | 第36-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 5 退火过程中辅助电场对铝诱导晶化制备多晶硅薄膜的影响 | 第42-46页 |
| ·实验过程 | 第42-43页 |
| ·样品制备过程 | 第42-43页 |
| ·薄膜结构及性能表征 | 第43页 |
| ·结果与讨论 | 第43-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 6 总结展望 | 第46-48页 |
| ·主要结论 | 第46-47页 |
| ·论文的主要创新点 | 第47页 |
| ·存在的问题和今后工作的研究重点 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-55页 |
| 在学研究成果 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56页 |
