| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 目录 | 第11-14页 |
| 第1章 绪论 | 第14-44页 |
| ·引言 | 第14-17页 |
| ·氧化物薄膜 | 第17-26页 |
| ·透明导电氧化物薄膜研究现状及发展 | 第17-22页 |
| ·透明导电氧化物薄膜材料光电性能原理 | 第22-24页 |
| ·氧化物薄膜制备方法 | 第24-26页 |
| ·氧化锡透明导电薄膜研究进展 | 第26-33页 |
| ·SnO_2系透明导电薄膜研究现状及发展 | 第26-30页 |
| ·氧化锡薄膜材料在低辐射镀膜玻璃中的应用 | 第30-33页 |
| ·氧化钛系薄膜研究进展 | 第33-42页 |
| ·TiO_2系薄膜研究现状及发展 | 第33-36页 |
| ·氧化钛薄膜在自清洁玻璃中的应用 | 第36-42页 |
| ·本论文研究思路与主要研究内容 | 第42-44页 |
| 第2章 实验与测试技术 | 第44-68页 |
| ·化学药品与实验仪器 | 第44-46页 |
| ·化学药品 | 第44-46页 |
| ·制备样品的实验设备 | 第46页 |
| ·样品制备与处理设备 | 第46-55页 |
| ·浮法在线化学气相沉积/金属有机化学气相沉积制备技术及装备 | 第46-52页 |
| ·浮法在线多层复合功能薄膜的大面积制备技术路线 | 第52-53页 |
| ·样品热处理仪器 | 第53-55页 |
| ·FIB-TEM断面样品制备 | 第55-59页 |
| ·制备仪器 | 第55-56页 |
| ·制备过程 | 第56-59页 |
| ·薄膜结构分析和性能测试方法 | 第59-68页 |
| ·薄膜形貌分析 | 第59-61页 |
| ·薄膜相结构分析 | 第61-62页 |
| ·薄膜电学性能测量 | 第62-63页 |
| ·薄膜光学性能测量 | 第63-65页 |
| ·薄膜力学性能测量 | 第65-66页 |
| ·薄膜亲水性测量 | 第66-68页 |
| 第3章 浮法在线制备大面积SnO_2：F多层功能薄膜微纳结构可控制备、性能调控技术 | 第68-106页 |
| ·引言 | 第68-69页 |
| ·浮法在线制备SnO_2：F/SiC_xO_y/glass多层薄膜均匀性与结构分析 | 第69-89页 |
| ·SiC_xO_y阻挡层结构与均匀性分析 | 第69-73页 |
| ·SnO_2：F功能层结构、均匀性与性能分析 | 第73-81页 |
| ·SnO_2：F/SiC_xO_y/glass复合薄膜结构、均匀性与性能分析 | 第81-89页 |
| ·前驱体流量对SnO_2：F透明导电薄膜结构及性能调控 | 第89-98页 |
| ·前驱体流量对SnO_2：F薄膜结构的调控 | 第90-94页 |
| ·前驱体流量对SnO_2：F薄膜光、电、力学性能的调控 | 第94-98页 |
| ·阻挡层对SnO_2：F薄膜结构与性能的调控 | 第98-104页 |
| ·阻挡层对SnO_2：F薄膜结构的调控 | 第99-102页 |
| ·阻挡层对SnO_2：F薄膜光电性能的调控 | 第102-104页 |
| ·小结 | 第104-106页 |
| 第4章 浮法在线制备大面积SnO_2：F低辐射镀膜玻璃在温度作用下的微结构与性能的研究 | 第106-128页 |
| ·引言 | 第106-107页 |
| ·SnO_2：F低辐射镀膜玻璃在温度场下微结构与性能稳定性研究 | 第107-112页 |
| ·热处理温度对低辐射镀膜玻璃结构与形貌的影响 | 第107-109页 |
| ·热处理温度对低辐射镀膜玻璃光电性能的影响 | 第109-112页 |
| ·SnO_2：F低辐射镀膜玻璃热加工性能研究 | 第112-119页 |
| ·钢化对低辐射镀膜玻璃结构与形貌的影响 | 第112-116页 |
| ·钢化对低辐射镀膜玻璃光电性能的影响 | 第116-119页 |
| ·SnO_2：F低辐射镀膜玻璃热加工性能原位研究 | 第119-126页 |
| ·样品制备与模型建立 | 第119-121页 |
| ·原位研究SnO_2:F低辐射镀膜玻璃热加工过程中薄膜光学参数的演化 | 第121-126页 |
| ·小结 | 第126-128页 |
| 第5章 浮法在线制备大面积TiO_2自清洁镀膜玻璃微结构与性能的研究 | 第128-150页 |
| ·引言 | 第128-129页 |
| ·浮法在线制备大面积TiO_2薄膜均匀性与结构分析 | 第129-135页 |
| ·TiO_2薄膜结构与形貌 | 第129-132页 |
| ·TiO_2薄膜的均匀性 | 第132-135页 |
| ·大面积TiO_2薄膜结构与性能的可控制备 | 第135-148页 |
| ·前驱体TTIP浓度对TiO_2薄膜结构与性能的调控 | 第135-141页 |
| ·前驱体流量对TiO_2薄膜结构与性能的调控 | 第141-148页 |
| ·小结 | 第148-150页 |
| 第6章 结论与展望 | 第150-154页 |
| ·结论 | 第150-152页 |
| ·展望 | 第152-154页 |
| 参考文献 | 第154-170页 |
| 致谢 | 第170-172页 |
| 个人简历及攻读学位期间取得的科研成果 | 第172-173页 |
