| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-27页 |
| ·引言 | 第11-12页 |
| ·CN_x的理论预测 | 第12-13页 |
| ·CN_x制备方法 | 第13-21页 |
| ·高温高压法 | 第13-14页 |
| ·电化学沉积 | 第14页 |
| ·反应磁控溅射镀膜 | 第14-15页 |
| ·化学气相沉积 | 第15-17页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第17-21页 |
| ·CN_x薄膜的性能及潜在应用价值 | 第21-24页 |
| ·CN_x薄膜的性能 | 第21-24页 |
| ·应用前景 | 第24页 |
| ·课题立题依据及研究内容 | 第24-27页 |
| ·负偏压效应 | 第24-25页 |
| ·研究方案的提出及意义 | 第25-26页 |
| ·主要研究内容 | 第26-27页 |
| 第2章 CN_x薄膜的制备和表征 | 第27-37页 |
| ·CN_x薄膜的制备 | 第27-32页 |
| ·脉冲激光沉积(PLD)的试验装置 | 第27-28页 |
| ·PLD基本原理 | 第28-29页 |
| ·PLD的特点 | 第29-30页 |
| ·试验方法 | 第30-32页 |
| ·薄膜表征手段 | 第32-37页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第32-33页 |
| ·拉曼光谱仪(Raman) | 第33页 |
| ·扫面电镜(SEM) | 第33页 |
| ·涂层附着力自动划痕仪 | 第33-35页 |
| ·纳米压痕仪 | 第35页 |
| ·球盘式摩擦磨损试验机 | 第35-37页 |
| 第3章 c-CN_x薄膜的化学成分、微观结构及机械性能分析 | 第37-49页 |
| ·薄膜化学成分及其微结构的表征 | 第37-44页 |
| ·XPS光谱分析 | 第37-42页 |
| ·拉曼结构分析 | 第42-44页 |
| ·硬度及膜-基结合力测试 | 第44-46页 |
| ·硬度测试 | 第44-45页 |
| ·膜-基结合力测试 | 第45-46页 |
| ·形貌分析及摩擦磨损测试 | 第46-48页 |
| ·表面及横截面形貌分析 | 第46-47页 |
| ·摩擦系数 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 i-CN_x薄膜的化学成分、微观结构及机械性能分析 | 第49-59页 |
| ·薄膜化学成分及其微结构的表征 | 第49-53页 |
| ·XPS光谱分析 | 第49-52页 |
| ·拉曼结构分析 | 第52-53页 |
| ·硬度及膜-基结合力测试 | 第53-55页 |
| ·硬度测试 | 第53-54页 |
| ·膜-基结合力测试 | 第54-55页 |
| ·形貌分析及摩擦磨损测试 | 第55-57页 |
| ·表面及横截面形貌分析 | 第55-56页 |
| ·摩擦系数分析 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 c-CN_x薄膜和i-CN_x薄膜的对比分析及展望 | 第59-63页 |
| ·化学成分、价键结构和机械性能分析 | 第59-61页 |
| ·氮原子百分含量 | 第59页 |
| ·价键结构 | 第59-60页 |
| ·机械性能 | 第60-61页 |
| ·CN_x薄膜的生长机理 | 第61-62页 |
| ·展望 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-71页 |
| 致谢 | 第71-73页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第73页 |
