| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-22页 |
| ·研究背景 | 第9-12页 |
| ·研究现状 | 第12-20页 |
| ·主要研究内容 | 第20-22页 |
| 2 外延生长SnO_2薄膜 | 第22-38页 |
| ·实验设备 | 第22-24页 |
| ·在A1203基片上生长SnO_2 | 第24-26页 |
| ·在MgF2基片上生长SnO_2 | 第26-35页 |
| ·在云母基片上生长SnO_2膜 | 第35-37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 3 颗粒锡膜的制备与形貌表征 | 第38-50页 |
| ·前言 | 第38页 |
| ·颗粒锡膜的制备 | 第38-42页 |
| ·颗粒锡膜形貌相关性 | 第42-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 4 薄颗粒锡膜对O_2的气敏性 | 第50-56页 |
| ·前言 | 第50-51页 |
| ·颗粒锡膜气敏性测试 | 第51-53页 |
| ·200℃、300℃温度下的气敏响应 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 5 全文总结 | 第56-58页 |
| ·主要研究结果 | 第56-57页 |
| ·展望 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 附录1 攻读学位期间发表的论文目录 | 第63页 |