| 摘要 | 第1-10页 |
| ABSTRACT | 第10-12页 |
| 致谢 | 第12-18页 |
| 第一章 绪论 | 第18-27页 |
| ·本学位论文的研究背景及意义 | 第18-21页 |
| ·共焦测量术的国内外现状 | 第21-26页 |
| ·本学位论文研究内容 | 第26-27页 |
| 第二章 泰伯效应对激光并行共焦测量影响分析及研究 | 第27-46页 |
| ·泰伯间距的建模与分析 | 第27-33页 |
| ·一维周期性器件的泰伯间距 | 第27-28页 |
| ·微透镜阵列的泰伯间距 | 第28-31页 |
| ·激光并行共焦测量系统的泰伯间距 | 第31-33页 |
| ·真伪正焦面的差异分析 | 第33-35页 |
| ·克服泰伯效应影响的相关研究 | 第35-45页 |
| ·改变波长λ的相关研究 | 第35-43页 |
| ·改变光分束器件周期 d 的相关研究 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第三章 数字微镜器件（DMD）用于激光并行共焦测量的研究 | 第46-65页 |
| ·DMD 工作机理 | 第46-50页 |
| ·基于 DMD 的激光并行共焦测量系统 | 第50-62页 |
| ·DMD 空间光调制的理论建模 | 第50-52页 |
| ·测量系统构建方法研究 | 第52-56页 |
| ·DMD 控制方法研究 | 第56-60页 |
| ·DMD 的相关实验研究 | 第60-62页 |
| ·单光源双光路并行共焦测量系统构建方案 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-65页 |
| 第四章 激光并行共焦测量装置研究及相关实验 | 第65-84页 |
| ·单光源双光路实验装置的构建 | 第65-75页 |
| ·光源的分析与选择 | 第66-72页 |
| ·微透镜阵列的分析与选择 | 第72页 |
| ·光电接收器件的分析与选择 | 第72-75页 |
| ·其他光学器件的分析与选择 | 第75页 |
| ·图像处理方法研究 | 第75-80页 |
| ·已有的光强位移曲线获取方法及存在的缺陷 | 第75-76页 |
| ·改进后的光强位移曲线获取方法 | 第76-79页 |
| ·几种不同图像处理方法的实验对比 | 第79-80页 |
| ·克服泰伯效应及系统特性实验研究 | 第80-83页 |
| ·小结 | 第83-84页 |
| 第五章 总结与展望 | 第84-86页 |
| ·研究工作总结 | 第84页 |
| ·后续研究工作展望 | 第84-86页 |
| 参考文献 | 第86-96页 |
| 附录 DMD 控制软件程序代码 | 第96-117页 |
| 攻读博士学位期间发表论文及成果 | 第117-118页 |