热丝与射频等离子体化学气相沉积复合技术制备多晶硅薄膜及其性能研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-20页 |
| ·太阳能资源概述 | 第9-10页 |
| ·太阳能的优势 | 第9页 |
| ·太阳能的利用 | 第9-10页 |
| ·我国太阳能资源的分布 | 第10页 |
| ·光伏技术与太阳能电池的发展 | 第10-12页 |
| ·光伏技术的发展 | 第10-11页 |
| ·太阳能电池的发展 | 第11-12页 |
| ·太阳能电池的种类 | 第12-15页 |
| ·硅太阳能电池 | 第13-14页 |
| ·其它薄膜太阳能电池 | 第14-15页 |
| ·硅基薄膜在其他领域的应用 | 第15-18页 |
| ·有机发光二极管 | 第15页 |
| ·场致发射平板显示器(FED) | 第15-16页 |
| ·薄膜晶体管液晶平板显示器(TFT-LCD) | 第16-18页 |
| ·薄膜沉积方法介绍 | 第18-20页 |
| ·等离子增强化学气相沉积法 | 第18-19页 |
| ·热丝化学气相沉积法 | 第19页 |
| ·热丝-等离子增强化学气相沉积结合法 | 第19-20页 |
| 2 实验方法与表征 | 第20-26页 |
| ·实验设备与过程 | 第20-21页 |
| ·实验设备 | 第20页 |
| ·实验过程 | 第20-21页 |
| ·薄膜的表征 | 第21-26页 |
| ·拉曼散射 | 第21-22页 |
| ·膜厚测试 | 第22页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第22-23页 |
| ·紫外可见光吸收光谱 | 第23-24页 |
| ·红外吸收光谱 | 第24页 |
| ·原子力显微镜 | 第24-26页 |
| 3 热丝距离对薄膜的影响 | 第26-34页 |
| ·灯丝距离对薄膜晶化率的影响 | 第26-29页 |
| ·灯丝距离对薄膜沉积速率的影响 | 第29-30页 |
| ·灯丝距离对薄膜结构的影响 | 第30-31页 |
| ·灯丝距离对薄膜光学性能的影响 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 4 射频功率薄膜的影响 | 第34-41页 |
| ·射频功率对晶化率的影响 | 第34-38页 |
| ·射频功率对薄膜表面形貌的影响 | 第38-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 气体流量对薄膜的影响 | 第41-52页 |
| ·气体流量对晶化率的影响 | 第41-45页 |
| ·气体流量对薄膜形貌的影响 | 第45-47页 |
| ·气体流量对薄膜晶体结构的影响 | 第47-48页 |
| ·气体流量对薄膜键合结构的影响 | 第48-49页 |
| ·气体流量对薄膜禁带宽度的影响 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 结论 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
