| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 图表清单 | 第9-12页 |
| 注释表 | 第12-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-22页 |
| ·前言 | 第13-15页 |
| ·电铸技术简介 | 第13-14页 |
| ·电铸工艺存在的问题 | 第14-15页 |
| ·电铸技术的研究与应用 | 第15-19页 |
| ·改善电铸层均匀性的研究现状 | 第19-20页 |
| ·课题的研究目的与意义 | 第20-21页 |
| ·本文研究的主要内容 | 第21-22页 |
| 第二章 电铸及其电场的相关理论 | 第22-32页 |
| ·电化学基本原理 | 第22-23页 |
| ·电沉积的基本理论 | 第23-28页 |
| ·电极/溶液界面双电层模型 | 第23-24页 |
| ·电极极化 | 第24-25页 |
| ·电沉积时阴极上的电流密度分布 | 第25-27页 |
| ·电沉积时金属在阴极上的沉积分布 | 第27-28页 |
| ·电铸电场的基本理论 | 第28-31页 |
| ·导电媒质中恒定电场的基本概念 | 第28-29页 |
| ·导电媒质中恒定电场的基本方程与位函数 | 第29-30页 |
| ·基本方程 | 第29-30页 |
| ·位函数 | 第30页 |
| ·恒定电场边值问题及求解 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 电铸阳极设计方法 | 第32-50页 |
| ·电铸电场仿真 | 第32-35页 |
| ·电铸电场数学模型的建立 | 第32-33页 |
| ·电铸电场数学模型的有限元法求解 | 第33-35页 |
| ·电铸阳极优化设计 | 第35-40页 |
| ·优化设计简介 | 第36页 |
| ·电铸阳极设计方案 | 第36-39页 |
| ·在 ANSYS 平台上使用 APDL 语言实施电铸阳极设计方案 | 第39-40页 |
| ·复杂型面电铸阳极设计举例 | 第40-49页 |
| ·阳极设计 | 第41-44页 |
| ·对优化后的阳极轮廓进行局部处理 | 第44-46页 |
| ·阴阳极的初始间距对电场优化结果的影响 | 第46-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 电铸不溶性组合阳极设计方法 | 第50-60页 |
| ·不溶性组合阳极的设计方法 | 第50-52页 |
| ·不溶性组合阳极轮廓的生成 | 第50-51页 |
| ·组合阳极轮廓的优化 | 第51-52页 |
| ·复杂型面电铸不溶性组合阳极设计举例 | 第52-59页 |
| ·阳极设计 | 第52-54页 |
| ·对优化后的阳极轮廓进行局部处理 | 第54-56页 |
| ·初始组合阳极与阴极之间间距对电场优化结果的影响 | 第56-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 电沉积均匀性试验 | 第60-74页 |
| ·电铸工艺流程简介 | 第60页 |
| ·复杂型面电沉积均匀性试验 | 第60-66页 |
| ·试验装置的设计 | 第61-63页 |
| ·电沉积单元的设计 | 第61-62页 |
| ·试验装置的整体结构 | 第62页 |
| ·电解液系统 | 第62-63页 |
| ·电源 | 第63页 |
| ·电沉积试验过程 | 第63-64页 |
| ·试验结果及讨论 | 第64-66页 |
| ·芯模为曲面件时的阴极电场分布 | 第64-65页 |
| ·试验结果及分析 | 第65-66页 |
| ·不溶性组合阳极电沉积试验 | 第66-73页 |
| ·试验装置设计 | 第66-70页 |
| ·芯模 | 第66-67页 |
| ·阳极结构方案 | 第67-68页 |
| ·试验装置总体结构 | 第68-69页 |
| ·电解液系统 | 第69-70页 |
| ·电源 | 第70页 |
| ·电沉积试验过程 | 第70页 |
| ·试验结果及讨论 | 第70-73页 |
| ·实际边界条件下电铸电场分析 | 第70-71页 |
| ·电铸件的厚度分布 | 第71-73页 |
| ·对测试结果的分析及讨论 | 第73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 第六章 总结与展望 | 第74-76页 |
| ·论文工作总结 | 第74页 |
| ·对未来工作的展望 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 硕士研究生期间发表的论文 | 第80页 |