微机电引信安全与解除保险装置结构设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-19页 |
| ·选题背景 | 第8-14页 |
| ·引信的特点与功能 | 第9页 |
| ·引信安全系统 | 第9-11页 |
| ·MEMS技术的基本概念及特点 | 第11-13页 |
| ·MEMS技术在引信中的应用 | 第13-14页 |
| ·引信MEMS S&A装置的发展状况 | 第14-17页 |
| ·国内外引信MEMS S&A装置的研究状况 | 第14页 |
| ·典型引信MEMS S&A装置分析 | 第14-17页 |
| ·本文主要研究工作 | 第17-19页 |
| 2 电磁驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计 | 第19-32页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置 | 第19-21页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置设计思路 | 第19-21页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置作用过程 | 第21页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置前期设计 | 第21-24页 |
| ·隔爆机构前期设计方案 | 第21-23页 |
| ·前期设计存在的问题 | 第23-24页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置改进设计 | 第24-29页 |
| ·中间滑块和锁销的改进设计 | 第24-26页 |
| ·锁销弹簧的改进设计 | 第26-28页 |
| ·底板和上盖板的改进设计 | 第28-29页 |
| ·后坐机构设计 | 第29-30页 |
| ·其它结构设计 | 第30-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 3 电热驱动引信MEMS S&A装置总体结构设计 | 第32-43页 |
| ·微驱动器的功能及分类 | 第32-33页 |
| ·电热微驱动器结构设计 | 第33-38页 |
| ·电热微驱动器设计思想 | 第33-35页 |
| ·双热臂U形梁电热微驱动器设计 | 第35-36页 |
| ·双热臂U形梁电热微驱动器仿真优化 | 第36-38页 |
| ·电热驱动引信MEMS S&A装置隔爆机构 | 第38-39页 |
| ·新型隔爆机构设计与仿真 | 第39-42页 |
| ·隔爆机构设计思路 | 第39-40页 |
| ·隔爆机构设计 | 第40-41页 |
| ·隔爆机构计算与仿真 | 第41-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 4 引信MEMS S&A装置工艺技术 | 第43-54页 |
| ·MEMS加工工艺 | 第43-48页 |
| ·体硅微加工 | 第43页 |
| ·表面硅微加工 | 第43-44页 |
| ·光刻 | 第44-46页 |
| ·LIGA技术与UV-LIGA技术 | 第46-48页 |
| ·加工工艺软件模拟 | 第48-52页 |
| ·Coventor Ware软件简介 | 第48-49页 |
| ·隔爆机构工艺模拟 | 第49-51页 |
| ·电热微驱动器工艺模拟 | 第51-52页 |
| ·物理样机的制备 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 引信MEMS S&A装置集成装配与实验分析 | 第54-64页 |
| ·电磁驱动引信MEMS S&A装置集成装配 | 第54-55页 |
| ·微拉力实验 | 第55-56页 |
| ·实验目的及仪器 | 第55页 |
| ·实验方法及步骤 | 第55-56页 |
| ·实验结果及分析 | 第56页 |
| ·微驱动实验 | 第56-60页 |
| ·电热微驱动实验 | 第56-58页 |
| ·电磁微驱动实验 | 第58-60页 |
| ·离心实验 | 第60-62页 |
| ·实验目的及仪器 | 第60页 |
| ·实验方法及步骤 | 第60页 |
| ·实验结果及分析 | 第60-62页 |
| ·抗高过载冲击实验 | 第62-63页 |
| ·实验目的及仪器 | 第62页 |
| ·实验方法及步骤 | 第62-63页 |
| ·实验结果及分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 6 总结 | 第64-67页 |
| ·论文总结 | 第64-65页 |
| ·论文创新点 | 第65-66页 |
| ·对今后工作的建议 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 参考文献 | 第68-71页 |
| 附录 | 第71页 |
