商业化Cz-Si太阳能电池扩散工艺的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 插图索引 | 第9-11页 |
| 附表索引 | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-19页 |
| ·研究背景 | 第12-13页 |
| ·国内外发展趋势 | 第13-17页 |
| ·本论文的研究内容及研究意义 | 第17-19页 |
| 第2章 Cz-Si 太阳能电池的基本原理 | 第19-28页 |
| ·光生伏特效应 | 第19-20页 |
| ·太阳电池的结构 | 第20-21页 |
| ·太阳电池的电流电压特性 | 第21-22页 |
| ·描述太阳能电池的参数 | 第22-24页 |
| ·短路电流 Isc | 第22页 |
| ·开路电压 VOC | 第22-23页 |
| ·填充因子 FF | 第23-24页 |
| ·太阳能电池的能量转换效率 | 第24页 |
| ·太阳电池的等效电路 | 第24-26页 |
| ·太阳能电池的影响因素及效率提升的方式 | 第26-28页 |
| 第3章 Cz-Si 太阳能电池的生产工艺 | 第28-40页 |
| ·硅片检测 | 第28页 |
| ·表面制绒 | 第28-30页 |
| ·扩散制结 | 第30-33页 |
| ·等离子刻蚀 | 第33-34页 |
| ·去磷硅玻璃 | 第34-35页 |
| ·PECVD 镀减反射膜 | 第35-37页 |
| ·丝网印刷 | 第37-38页 |
| ·快速烧结 | 第38-39页 |
| ·测试分选 | 第39-40页 |
| 第4章 扩散均匀性的研究 | 第40-48页 |
| ·扩散均匀性的影响因素 | 第40-42页 |
| ·方块电阻的准确测量 | 第42-44页 |
| ·实验 | 第44-47页 |
| ·结论 | 第47-48页 |
| 第5章 单面扩散与双面扩散的研究 | 第48-54页 |
| ·实验 | 第48-51页 |
| ·数据分析及讨论 | 第51-53页 |
| ·结论 | 第53-54页 |
| 第6章 正电极副栅与方块电阻的关系 | 第54-62页 |
| ·理论分析 | 第54-57页 |
| ·实验 | 第57页 |
| ·结果与讨论 | 第57-61页 |
| ·结论 | 第61-62页 |
| 第7章 30-60 /□的烧结工艺与良品率的关系 | 第62-73页 |
| ·理论 | 第62-64页 |
| ·实验 | 第64-72页 |
| ·实验过程 | 第64页 |
| ·实验设计 | 第64-72页 |
| ·结论 | 第72-73页 |
| 第8章 商业化高效、浅结 Cz-Si 太阳能电池 | 第73-80页 |
| ·理论分析 | 第73-74页 |
| ·实验 | 第74-76页 |
| ·结果与讨论 | 第76-79页 |
| ·发射极结深对方块电阻均匀性的影响 | 第76页 |
| ·浅结轻掺扩散模式对 pn 结性能的影响 | 第76-78页 |
| ·浅结电池与细栅技术的关系 | 第78-79页 |
| ·结论 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 附录 A（攻读学位期间所发表的学术论文目录） | 第87页 |
